中古 MIKROMAT 20 V #9066853 を販売中

MIKROMAT 20 Vは、高度な光電子、マイクロエレクトロニクス、および微細構造ベースのコンポーネントを処理およびパターン化するために設計された精密フォトレジスト機器です。高精度・高精度を実現し、部品の分解能を損なうことなく部品を正確にパターニングできます。このシステムは垂直ステージを利用して、1つの平面で基板全体をスキャンし、光学露光用のキセノンアークランプを使用します。20Vは高分解能イメージングユニットを搭載し、0。1 µmまでの分解能を実現しています。イメージングマシンには、部品の正確な位置決めとパターニングのための3軸サーボツールが含まれています。さらに、部品の均一な露出と加工を保証する真空密閉チャンバーも含まれています。このアセットは、ユーザーにパフォーマンスと精度を向上させるいくつかの機能を提供します。これらの機能には、短い露光時間の高速処理、ダイナミックフォーカスレギュレーション、および電動翻訳メカニズム、in-situ計測モデルが含まれます。さらに、この装置は、パターンサイズと位置の調整を可能にする平面内アライメントシステムを提供しています。MIKROMAT 20Vにはタッチセンサー技術も搭載されており、非接触検知により基板の位置を検出および制御することができます。これにより、基板の正確な操作が可能になり、部品の品質と精度が向上します。最後に、20Vにはフォトレジスト加工用の温度制御機が含まれています。このツールは、極端な温度条件に耐えることができるコンポーネントの生産を可能にするように設計されており、非常に均一で正確な結果を得ることができます。温度制御アセットは、半導体部品のベーキング時間を制御するのにも役立ちます。要約すると、MIKROMAT 20Vは、高精度で高解像度のコンポーネントを生成するように設計された最先端のフォトレジストモデルです。この装置は、高分解能イメージングシステム、真空密閉チャンバー、タッチセンサ技術、平面アライメントユニット、高速処理、ダイナミックフォーカス制御、モーター変換機構、現場計測機、フォトレジスト加工用温度制御ツールを備えています。