中古 MESETEK VFD-8000 #9198034 を販売中
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MESETEK VFD-8000は、半導体デバイスの最適なリソグラフィとエッチング用に設計されたフォトレジスト装置です。複雑な形状や細かい構造をパターン化するための信頼性が高く正確な方法を提供します。このシステムは、365nm〜435nmの範囲で紫外(UV)エネルギーを生成する耐久性と強力なUV光源を備えています。この発光は、フォトレジストなどの感光材料を迅速かつ正確に露光するのに役立ちます。また、高度なビジョンセンサーと光学系を使用して、ウェハを正確に整列させ、プロセス中の位置を追跡します。また、一貫した信頼性の高い結果を保証する自動プロセス制御マシンも備えています。フォトレジストツールは、基板に適用される液体化学物質を使用しています。紫外線にさらされるとレジスト層を形成し、設計に合わせて基板表面を正確にパターン化することができます。フォトレジストは、ウエハ上に堆積してからUV光にさらすことで、より高い精度で微細な形状を実現することができます。VFD-8000フォトレジスト資産は、半導体リソグラフィ技術を活用して、ウェーハ上の光の露出とパターンのサブミクロン精度を実現しています。また、真空チャンバーを備えており、感光前のステップのための写真感度の高いソリューションを迅速かつ効果的に除去します。理想的なエッチング結果を達成し、熱勾配を低減するために温度制御を調整することもできます。フォトレジストモデルには、フォトリソグラフィープロセス全体で高精度を維持するのに役立つ統合された精密計測装置があります。このシステムは、露出プロセスの前後にウェーハを分析し、指定された要件に厳密に準拠していることを確認します。また、測定データの結果に基づいて正確な調整を行うことができます。MESETEK VFD-8000フォトレジストユニットは、信頼性と正確な結果を達成するための機能の範囲を提供しています。集積回路、メモリモジュール、その他の高度なコンポーネントの製造に最適なソリューションです。
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