中古 MESETEK VFC-8000 #9198035 を販売中
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MESETEK VFC-8000フォトレジスト装置は、幅広いフォトリソグラフィープロセスとアプリケーション向けに設計された最先端のモジュラーシステムです。これは、エレクトロニクス、医療、光学、ディスプレイ業界のさまざまな生産および研究アプリケーションのための優れたソリューションになるさまざまな機能を備えています。VFC-8000は、ユーザーに柔軟で便利なソリューションを提供するためのモジュラープラットフォームを備えています。シングルビームとデュアルビームを含むさまざまな構成で利用可能で、最大8つの独立したレーザーを備え、幅広い露出エネルギーをサポートします。このユニットは、広範囲のウエハ(直径8インチまで)、フォトレジスト、その他多くの材料を効果的に露出することができます。この機械の高度な光学分布機能には、革新的な露出アライメントプロセスが含まれており、シングルおよびデュアルビーム露光システムの両方で露出の均一性を最大化します。また、目的の領域に露光光を正確かつ正確に集光するビーム集光ツールも含まれています。MESETEK VFC-8000の照明制御アセットは、露光領域全体にわたって正確で連続的な露光レベルを保証します。これにより、最も均一な薄膜蒸着とフィーチャーサイズの最適な分解能を確保できます。また、VFC-8000はプロセス監視モデルを備えており、開発したフォトレジストの品質に関するリアルタイムのフィードバックをユーザーに提供し、プロセスの問題を迅速に特定するのに役立ちます。MESETEK VFC-8000は、プロセス監視装置の一部として、フォトレジストが保存され、繰り返し可能な方法で開発されていることを保証するアクティブな障害検出システムも含まれています。全体として、VFC-8000は高度なモジュラーフォトレジストユニットで、ユーザーに最大限の柔軟性、精度、およびリソグラフィープロセスの制御を提供します。革新的なアライメントとフォーカスマシン、アクティブフォルト検出、モニタリングツール、アクティブエクスポージングレベルなど、その優れた機能は、信頼性と均一な薄膜蒸着を保証し、プロセスサイクル時間を改善するのに役立ちます。MESETEK VFC-8000は、エレクトロニクス、医療、光学、ディスプレイ産業向けの優れたソリューションです。
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