中古 M-SETEK VL-6000 #9148407 を販売中

M-SETEK VL-6000フォトレジスト装置は、大手マスク製造装置メーカーのM-SETEKが製造した装置です。このシステムは、応用光源にさらされるために様々な材料の精密パターンを必要とする半導体デバイスの製造に使用されます。VL-6000は、非常に正確なパターンイメージングを実現するための高度なフォトリソグラフィ機能を備えています。M-SETEK VL-6000のコアデバイスは、高精度、低歪みのリニアアセンブリを含む精密XYステージです。このデバイスは、基板と光学ビームの非常に正確なアライメントを可能にし、ユーザーが超精密画像とパターンを生成することができます。また、光学イメージング工程でフォトレジストを均一に溶けた状態に保つための加熱チャンバーも備えており、非常によく定義されたパターンを提供します。ユニットにはいくつかのアクセサリーも装備されています。これにより、各ショットで露出時間を正確に制御し、照射パターンだけを光源に露出させることができます。また、高精度レーザー干渉計を搭載しているため、基板ステージの位置をレーザーキャリブレーションして究極の精度を得ることができます。VL-6000には、センサー搭載のレジストハウジングも含まれています。これには、レジストの温度と粘度の変化を検出するセンサーが含まれており、プロセス中に必要に応じてパラメータを調整できます。さらに、このツールには高解像度のイメージングカメラが付属しており、ユーザーは各ショットの結果を検査して検証することができます。M-SETEK VL-6000には、すべての機能を制御する強力なソフトウェアも装備されています。これにより、一連のショットを簡単にセットアップして実行でき、1つのキーストロークでイメージングプロセス全体を起動できます。要約すると、M-SETEKのVL-6000 Photoresist Assetは、高精度の半導体デバイスを製造するために設計された、高度で多機能なフォトリソグラフィーモデルです。精密なXYステージ、加熱チャンバー、同期モーター付きシャッター、レーザー干渉計、高度なレジスト監視センサー、高解像度イメージングカメラ、直感的なソフトウェアプラットフォームを備えています。