中古 LUNG PIEN LP-1800 EBA #293642698 を販売中
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ID: 293642698
Vacuum coater
Diameter size: 1800 mm
Fixture size: 1600 mm
Ultimate vacuum: 10^-7 Torr / 10^-5 Pa
Maximum substrate temperature: 350°C
Cooling water flow: 180 Liters/min
Grounding resistance: <5 Ohms
Air compressor:
Pneumatic: 8 Kg/cm²
Exhaust system:
Rotary pump: 6,000 Liters /min
Strengthen pump: 2,600 M³/hour
(2) Diffusion pumps: 45,000 Liters/sec
Ultra low temperature freezers: -110°C~ -140°C
Heating system:
Micro heater: 42 kW
Film thickness gauge:
Optical film thickness meter: LP Film thickness meter wide
Quartz film thickness meter: Monolithic sensor head / six sensing head
Vacuum gauge:
Pirani+Cold cathode (1ATM~ 10^-9 Torr / 1ATM~ 10^-7 Pa)
Evaporation source:
JEOL / PLASMATECH Electron gun, 6 kW / 10 kW / 15 kW
Resistance heating: 6 kW
Cooling system:
Pressure: 4 Kg/cm²
Pressure: 2 Kg/cm²
Power supply: 110 kW.
LUNG PIEN LP-1800 EBAは、高品質と生産効率のために構築された高度なフォトレジスト機器です。これは、避難用フォトレジストプロセッサ、欠陥モニター、センサー、データ収集エレクトロニクスからなる自己完結型ユニットです。LP-1800プロセッサは、高精度のプロセス制御に耐えながら、一貫した処理パラメータを提供します。欠陥モニターシステムには大型HD カラーLCDディスプレイが搭載されているため、欠陥のリアルタイム観察が可能で、インライン障害の検出と解析が容易になります。このユニットは、プリドライプロセス用の高度なレジストストリッピング技術を採用しており、さまざまなフォトレジスト材料に適しています。フィードフォワードコントロールマシン、高速プロセススピード設定、レーザー高さおよび膜厚モニタリングなどの高度な機能により、最高品質と精度をさらに保証します。LP-1800 EBAは、温度、力、圧力、真空、および粒子監視を含む包括的な計測を提供し、正確で信頼性の高いデータを提供します。さらに、LUNG PIEN LP-1800 EBAは、均一なバッチ処理のための統合フィードバック制御と、迅速な問題解決のための自動テストストップ機能も備えています。このツールはまた、オートメーションの高い統合を備えており、ユーザーは自分のレジストプロセスを簡単にプログラムすることができます。LP-1800 EBAは、フォトレジストレーザーアブレーションやリソグラフィなどの高度なプロセス技術をサポートするのに理想的です。その性能と高度な機能は、一貫したプロセス、高品質で高収量の生産を確保したい製造設備に最適です。
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