中古 LUNG PIEN LP-1500 EBA #293642696 を販売中
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ID: 293642696
Vacuum coater
Diameter size: 1500 mm
Fixture size: 1400 mm
Ultimate vacuum: 10^-7 Torr / 10^-5 Pa
Maximum substrate temperature: 350°C
Cooling water flow: 150 Liters/min
Air compressor: 3~5HP
Air pressure: 6-8 Kg/cm²
Grounding resistance: <5 Ohms
Exhaust system:
Rotary pump: 5,000 Liters/min
Strengthen pump: 1,500 M³/hour
Diffusion pump: 45,000 Liters/sec
Ultra low temperature freezers: -110°C ~ -140°C
Heating system:
Micro heater: 36 kW
Film thickness gauge:
Optical film thickness meter: LP Film thickness meter wide wave region
Quartz film thickness meter: Monolithic sensor head / six sensing head
Vacuum gauge:
Pirani+Cold cathode (1ATM~ 10^-9 Torr / 1ATM~ 10^-7 Pa)
Evaporation source:
JEOL / PLASMATECH Electron gun, 6 kW / 10 kW / 15 kW
Resistance heating: 6 kW
Cooling tower:
Pressure: 4 Kg/cm²
Pressure: 2 Kg/cm²
Power supply: 80 kW.
LUNG PIEN LP-1500 EBAフォトレジスト装置は、マイクロエレクトロニクス業界における高度なパッケージングプロセスの要件を満たすように設計されています。このシステムは、独自の技術を使用して、最も正確な表面処理に必要な最高品質のフォトレジスト層を開発、加工、製造する完全にプログラム可能な自動製造ソリューションです。その独特な設計は精密な層の厚さの調節、改善された付着および厳密な治療の制御を可能にします。LP-1500 EBAは、ほぼすべての環境で正確な測定を可能にし、ユーザーは正確な表面処理を達成することができます。それは各層の特定の変数を精密に制御するために自動化された単位が十分に装備されています。これには、層厚、接着、硬化制御が含まれます。LUNG PIEN LP-1500 EBAはまた写真の抵抗の層の均一な適用のための高度のapplierの技術を組み込みます。これにより、ユーザーはレイヤーの厚さと形状を迅速かつ正確に調整し、欠陥のない形状変更された製品を作成できます。また、強力なデジタルイメージングシステムも含まれており、レイヤーの正確な表面処理パラメータに対する比類のない洞察を提供します。LP-1500 EBAは、多様な生産環境においても最適なパフォーマンスを確保するために、堅牢でフルスペクトラムの監視と診断機能を備えています。各レイヤーの厚さや均一性のばらつきをリアルタイムで検出することができ、その場で簡単にエラーを修正できます。統合された光学系は乱流の存在下でも作動し、プロセス内の開発中に完全な柔軟性と俊敏性を提供します。LUNG PIEN LP-1500 EBAは、複数の操作で動作するように構築されており、ユーザーは生産プロセス中に変更を加えることができ、コストのかかる廃棄物を防ぎ、完成品の最高品質を確保することができます。LP-1500 EBAは、精度と精度の最高水準を満たすことができる信頼性が高く、ユーザーフレンドリーな機械です。洗練された技術、高精度の部品、堅牢な設計の組み合わせにより、高度なパッケージングプロセスに最適なソリューションです。
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