中古 LOTUS SYSTEMS CVS/CDS #293589874 を販売中

LOTUS SYSTEMS CVS/CDSは、回路製造に費用対効果が高く、信頼性が高く、柔軟なソリューションを提供するフォトレジスト機器です。具体的には、加工しやすく、高分解能で安定性のある素材で構成されたレジストコーティングシステムです。このユニットは、化学技術とコーティング技術を組み合わせて、良好なプロセス再現性を提供します。フォトレジストマシンの主なコンポーネントは、LOTUS Resist Coating Tool （RCS）、 LOTUS Coating Dispenser Asset （CDS）、 LOTUS Photomask Alignment Model （PAS）です。RCSは、銅または他の基板に均一で信頼性の高いコートを提供する責任があります。それに2つの主要な部分があります：フォトレジスト材料を一貫した速度で提供し、正確さのために監視される鋳造の頭部；そして基質の表面の上で動き、均一なコーティングの厚さを維持する2つの追跡の腕。CDSは、フォトレジスト材料の正確かつ再現可能な量を提供する責任があります。これは、送り速度、材料の温度、およびリザーバのレベルを監視する自動ディスペンサーを備えています。これにより、基板に適用される材料の一貫した量が保証されます。最後に、PASはCDSおよびRCSと連携して、基板上のフォトマスクを整列させることで、基板上のフォトレジストのパターンがフォトマスクのパターンと整列するように動作します。このアライメントは、フォトマスクの正確な配置と表面読み取りによって達成されます。LOTUS SYSTEMS CVS/CDSで使用されるフォトレジスト材料は、通常、ポリメチルメタクリレート（PMMA）やポリエトキシビニルアセテート（PEVA）などの高分子材料です。これらのポリマーは、多くの場合、安定した電気特性と顧客のニーズに合わせて簡単に変更する能力のために選択されます。フォトレジストは、パターニングのための制御された紫外線光源に容易にさらすことができることを意味する、高い写真感度を備えています。LOTUS SYSTEMS CVS/CDSは、簡単にプログラム可能でユーザーフレンドリーな回路製造方法を提供します。高速な生産速度、高解像度、優れたフォトマスクアライメント精度を提供する安定した一貫したレジストコーティング装置です。システムも費用対効果が高く、オペレータのトレーニングとメンテナンスを最小限に抑える必要があります。