中古 LEYBOLD Syrus 1510C #9395373 を販売中
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ID: 9395373
ヴィンテージ: 2007
AR Coating system
WAU 2001 H Rotary pump
SV630 Booster pump
POLYCOLD PFC-1102HC Chiller
Hydronium box: LEYBOLD TP 250
(2) EB-Guns with 8-pockets crucible
Ion source: APS Source with TP250 Controller
Crystal system: Q242 Board with 6-crystal head auto-change
POLYCOLD Cooling capacity: 860 W
POLYCOLD Cooling temperature: -130°C
Short circuit: 100 kA
Rated power: 110 kVA
Temperature: 35°C
HV Power supply: Output 10 kV
E-Beam gun: HPE12/10
Air relative humidity: Maximum 65%
Heating voltage: 400 VAC
Evaporator boat:
Tungsten
Tantalum
Niobium
Control system:
IPC Controller: BECKHOFF C5102-0010
HMI: BECKHOFF CP6902-0001-0000
Independent IDE display card
Non-functional UPS
Power supply: (3) 400 VAC±10%, 3-Phase, 50 Hz
2007 vintage.
LEYBOLD Syrus 1510Cは、フォトリソグラフィカル用途向けのフォトレジスト機器です。システムには、レジストトラック、開発後のユニット、および開発者が含まれます。これは、フォトレジスト処理のための再現性と信頼性の高いプラットフォームを提供します。Syrus 1510Cはシンプルでユーザーフレンドリーなデザインで、迅速なセットアップと操作が可能です。このユニットは、2つの異なる処理ジョブを同時に実行できるデュアルトラックデザインを備えています。さらに、このマシンにはマイクロプロセッサがあり、レシピの再現性を促進し、ユーザー間のセットアップ時間を最小限に抑えるようにプログラムすることができます。LEYBOLD Syrus 1510Cの主なコンポーネントは、レジストトラックと開発後のユニットです。レジストトラックには穴があいた内壁と外壁があり、ツールを通して一貫した層流を作り出します。これは、露光プロセス中にフォトレジスト材料の均一な拡散を作成します。開発後のユニットには光源が組み込まれており、ウェーハ上にフォトレジストフィルムを作成するために使用されます。Syrus 1510Cには、露出したフォトレジスト材料を除去するために使用される開発者も含まれています。これにより、目的のパターンで基板を処理することができます。開発者は、定義された基板地形を維持しながら、フォトレジスト層を除去するのに効果的で一貫したものになるように設計されています。LEYBOLD Syrus 1510Cは、汎用性が高く信頼性の高いフォトリソグラフィ資産です。デュアルトラック設計と自動制御を組み合わせたシンプルでユーザーフレンドリーなデザインで、フォトレジストレイヤーを迅速かつ効率的に処理できます。さらに、ジョブ間のセットアップ時間を最小限に抑える優れた再現性を提供します。半導体デバイスの加工に必要な高品質で均一なフォトレジスト対応基板の提供に最適です。
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