中古 LEYBOLD OPTICS Syrus TC III #9394826 を販売中

LEYBOLD OPTICS Syrus TC IIIは、高度な集積回路生産に使用される最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、ウェーハにマスクを光学的に投影することで、フォトレジストの薄い層を生成します。この層は、エッチングなどの化学処理中にウェーハ表面を保護するために使用されます。Syrus TC IIIは高精度で、解像度は0。25 µmです。可変NA 0。5〜0。7可変基板と154mmのイメージサークルを備え、より大きなマスクを投影します。このユニットには、高速露光用の633nmレーザーと、投影収差を除去する二色鏡が装備されています。270 nmの垂直照明は3。8 mWatts/cm2までの照明強度を見ます。機械全体が柔軟性と自動化を中心に設計されています。例えば、このツールは、円形、長方形、さらには正方形など、さまざまなウェーハ形状や厚さと互換性があります。また、高度なプロセス制御アセットを備えており、複数のレイヤーにわたって最大限の再現性とプロセスの一貫性を実現する自動レシピを提供します。また、マスクの装填時間とコストを削減するマルチゾーンのオーバーラップ露出も特徴です。LEYBOLD OPTICS Syrus TC IIIは、利用可能な最も先進的なフォトレジストシステムの1つです。生産速度と精度を向上させ、廃棄物管理とコスト効率を向上させます。これにより、高感度材料の大量加工に最適です。