中古 LEYBOLD OPTICS MCS #9386355 を販売中

LEYBOLD OPTICS MCSは、LEYBOLD OPTICSによって開発された、幅広いマイクロエレクトロニクスおよびナノスケールのフォトリソグラフィック製造プロセス向けの包括的なフォトレジスト機器です。システムには、マスク製造時の歪みを最小限に抑えるように設計された、最小解像度の0.5µmと独自の材料で構成されたマスキングユニットを備えた高解像度マスクアライナーが含まれています。MCSは、複雑な高密度フォトレジスト構造を製造するための費用対効果の高いソリューションです。本機は、独自の高周波UV光源を採用し、波長λ=350-450 nmの放射を実現し、ナノスケール画像を可能にする高精度の薄いガラス基板を備えた反射板を採用しています。LEYBOLD OPTICS MCSツールには高度なソフトウェアコントロールアセットが装備されており、画像の露光量、形状、サイズ、時間などの幅広いカスタマイズが可能です。さらに、MCSマイクロMSCリソグラフィ装置は、モデルの主要コンポーネントとして、リソグラフィ工程の完全な精度制御を提供します。フレームレートの高い電子ビームを使用することで、高分解能の0.1µmを実現することができ、高精度の高品質な構造を作り出すのに理想的です。さらに、このシステムには高い親和性の湿式処理ユニットが装備されているため、細かいラインやエッジ定義の問題なくリソグラフィー処理を完了できます。さらに、LEYBOLD OPTICS MCSは、高度な熱処理機能を使用して、欠陥および汚染制御のレベルを向上させます。この機械は、低消費電力で一貫した高品質の熱処理を提供するように設計されており、したがって単価あたり比較的低価格です。さらに、MCSマイクロMSCリソグラフィーツールには、高精度の低温真空処理を可能にする最先端の真空チャンバーがさらに装備されています。レジストの材料特性は低真空環境で劇的に変化し、大幅に改善され一貫性のある結果をもたらすことができます。要約すると、LEYBOLD OPTICS MCSは、高分解能、低欠損率、並外れた精度を提供する包括的なフォトリソグラフィ資産です。高周波UV光源、高解像度マイクロマスクアライナー、精密熱処理などの先進的な工具を活用し、極小サイズの部品を高精度に選択製造することが可能です。この装置は、次世代の集積回路をさらに高い精度で製造できるように設計されています。