中古 LEYBOLD OPTICS MCS #293615755 を販売中
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LEYBOLD OPTICS MCS (Microfabrication Control Equipment)は、高精度MEMS(マイクロエレクトロメカニカルシステム)やその他の微細加工プロセスの製造を目的とした総合的なフォトレジストシステムです。MCSは、リアルタイムモニタリングとフィードバックによるプロセス制御を自動化したクローズドループユニットです。LEYBOLD OPTICS MCSは、フォトレジストユニット、スピンコーター、IMB(統合測定ボード)の3つの主要コンポーネントで構成されています。フォトレジストユニットは、フォトレジストでサンプルをコーティングし、温度、試薬濃度、乾燥時間を制御するために使用されます。スピンコーターは、フォトレジストの均一なコーティングをサンプルに適用する責任があります。最後に、統合された測定ボードは、適用されたフォトレジスト層の高さ、幅、厚さを分析および制御するために使用されます。MCSマシンの主な利点は、ほぼ完璧な精度でフォトレジストプロセスを自動的に完了することです。これにより、ユーザーは手間をかけずに高精度の微細加工を行うことができます。さらに、LEYBOLD OPTICS MCSツールは、さまざまなサブシステムを追加してパフォーマンスをさらに向上させることもできます。これらのサブシステムには、レーザマイクロプロセッシング、レーザアニーリング、レーザーアブレーションなどの追加アプリケーションが含まれます。全体として、MCSは完全な自動微細加工プロセスを可能にし、生産コストを大幅に削減しながら、微細加工を作成する際にほぼ完璧な精度を実現します。また、カスタマイズ可能なアセットにより、特定のプロセスに最適なシステムとサブシステムを選択し、最適なパフォーマンスを確保できます。
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