中古 LEYBOLD OPTICS MCS 480 #9394822 を販売中

LEYBOLD OPTICS MCS 480は、紫外線に対するフォトレジストの迅速な曝露のために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、ランプソースモジュールとフォトレジスト加工モジュールの2つの主要コンポーネントで構成されています。ランプソースモジュールは、紫外線の適切な強度と波長を確保するために、それぞれ独自の光学フィルターを備えた4つの300ワット水銀蒸気ショートアークランプで構成されています。ランプは、フォトレジスト材料の加熱および冷却時間を短縮するために設計された調節可能なチャンバーを備えた水冷石英反射器に囲まれています。エンクロージャは、基板上のフォトレジストへの均一な露出を提供するために、角度の間を回転するようにプログラムすることもできます。フォトレジスト加工モジュールは、露出中の環境を正確に制御するための均一な雰囲気を提供するように設計されたチャンバーで構成されています。チャンバーには、温度と湿度を制御するブロワーユニットが内蔵されており、ランプソースモジュールから4つのランプに接続されています。チャンバーには、基板に到達する紫外線の量を制御するための調整可能なシャッターもあります。MCS 480は、最大400nm/秒の露光速度で、直径25インチ、厚さ0。5インチの基板加工が可能です。このPLCインターフェースは、ユーザーが紫外線の強度と波長を正確に制御するだけでなく、露出と冷却プロセスのタイミングを制御することができます。また、最大200個の個別露出レシピを保存して素早く簡単にセットアップできる統合プロセスコントローラを備えています。LEYBOLD OPTICS MCS 480は、今日の精密フォトリソグラフィープロセスで必要とされる、迅速で再現性のある正確な露出をユーザーに提供する、費用対効果の高い高性能フォトレジストマシンです。このツールは、マスク作成、ダイレクトライトリソグラフィ、および半導体ウェーハ、オプトエレクトロニクスデバイス、プリント回路基板の製造のためのダイレクトイメージングなどのアプリケーションに最適です。