中古 LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro #9329086 を販売中

LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Proは、高解像度アプリケーションを処理するためのフォトレジスト機器です。マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）やナノエレクトロメカニカルシステム（NEMS）などのマイクロデバイスの製造用に開発されました。CCS Proシステムは、高精度の薄膜を高解像度で製造することを可能にする高度なリソグラフィ技術を提供しています。紫外線（UV、 Holmium： Yttrium Aluminum Garnet）レーザー放射を利用して、数ナノメートルの大きさの構造物を作成するために、レジストに非常に焦点を当てた画像を公開しています。LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Proユニットには、自己整列ステージと水晶赤色レーザーが装備されており、非接触で露出を行い、レジストフィルムの不安定化を保証しません。CCS Pro機械にユーザーフレンドリーなインターフェイスによって容易に調節することができる複数の制御機能があります。これらには、線量制御および線量率測定、ステージの平面移動、パターンアライメント機能が含まれます。この機械には調整可能な長さフィールドストップが装備されており、露出を指定された幅に制限することができ、処理されたパターンの解像度をさらに向上させます。LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Proは、レーザーの可変的な反復露出と自動フォーカシングも可能で、正確で反復可能な結果を保証します。装置に潜在的なレーザーの危険からオペレータを保護する作り付けの安全対策があります。全面的な輝度を制御する機能を備えており、抵抗の温度を維持し、デバイスの作業環境を維持するために、プロセス中に発生するすべての熱を放散する反射防止排気ツールが装備されています。さらに、この資産はレーザー強度を監視および調整するためにレーザー制御モデルにも接続されています。クリーンで均一な結果を得るために、CCS Pro装置にはウェーハクリーニングステーションとスピンコーティングステーションが内蔵されており、デバイスの表面を簡単かつ効率的に準備できます。さらに、ドライエッチングシステムと組み合わせて使用するために、マシンをさらに変更することができます。全体として、LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Proは、高解像度マイクロおよびナノデバイスの製造に関する包括的なソリューションを提供します。さまざまな目標要件に対応し、ユーザーを保護するための効果的な安全対策を備えています。