中古 LEYBOLD HERAEUS TCO #9259572 を販売中

LEYBOLD HERAEUS TCOは、半導体生産におけるリソグラフィープロセスを最適化するために設計されたフォトレジストシステムです。フォトレジストは、光にさらされると、リソグラフィを半導体表面に移すために必要なパターンで化学的に変化し、エッチングされるポリマー材料です。TCOはPositiveとNegative Toneの両方の開発者、開発者添加剤Ti-SAAと開発者スタビライザーを組み込み、可能な限り最高のプロセス性能を保証します。LEYBOLD HERAEUS TCO-PTとして知られているPositive Tone開発者は、高解像度でクリーンなパターニング結果を提供しながら、一貫した全体的なエッチング性能と堅牢なプロセス緯度を提供します。それは、特定の顧客の要求に合わせて高粘度と低粘度の両方の製剤で利用できます。さらに、その高速な安定動作は、溶解した材料の蓄積を防ぎ、最適な性能を保証します。TCO-NTとして知られるNegative Tone開発者は、Positive Tone開発者よりも速い速度で開発するように設計されています。これにより、高スループットプロセスに適しており、高解像度のリソグラフィも製造できます。さらに、Ti-SAA添加剤は、サイドウォールの改善とコーナーの丸みの減少を可能にします。また、ウェーハ表面のアンダーカットの量を減らすことができます。最後に、開発者スタビライザーはスピン速度によるポリマー破壊の可能性を低減し、一貫したレジスト除去率を維持するのに役立ちます。これらの機能は、LEYBOLD HERAEUS TCOの他の優れた利点と組み合わされ、優れた保存寿命と取り扱いの容易さなど、半導体製造における最新のフォトレジストのリソグラフィープロセスに最適です。高品質な出力を高速かつ信頼性の高い方法で生成することができるため、TCOはクラスで最も人気のあるシステムの1つです。