中古 LEYBOLD HERAEUS SYRUS-C 1350 #9228481 を販売中

LEYBOLD HERAEUS SYRUS-C 1350は、フォトリソグラフィ領域での使用を目的としたフォトレジストプロセス機器です。半導体基板やウエハ基板の回路パターンを保護するフォトレジスト特性を提供するシステムです。最大13インチのシングルステップコーティングウェーハ、8インチ4emesおよび12インチ6emesウェーハアレイの処理が可能です。このユニットは、リソグラフィックまたはエッチング工程で使用するための基板上のフォトレジストの感光層を作成するために使用されます。LEYBOLD HERAEUS SYRUS C1350は多段コーティング技術を採用しており、最適なプロセス結果を得るためにウェーハを基板比制御できます。このプロセスには、基板表面にフォトレジストの層を適用し、フォトレジスト層を所定の温度に焼き付け、さらにフォトレジストの層を適用することが含まれます。シングルステップコーティングと均一なカバレッジを持つクォーターコーティングの両方を処理することもできます。フォトレジスト線はCADツールを使用して基板に印刷され、エッチングするパターンの高さは半自動レーザー干渉計を選択して決定されます。レーザービームをウェーハに集中させ、希望のパターンを露出させます。露出後、ウェーハはフォトレジストの露出していない部分を除去するために開発者プロセスを受けます。SYRUS-C 1350は、露出ごとに調整可能な投与量制御、ローカライズされたパターン固有の露出、プロセス自動化機能など、最先端の機能を提供します。また、0。2マイクロメートルまでの高解像度イメージングが可能です。このアセットは、手動、半自動、または完全に自動化されたプロセスを使用するオプションをユーザーに提供し、アプリケーションに応じてさまざまな量の制御とカスタマイズを可能にします。その他の利点は、基板の均一なカバレッジと正確なフォトレジストパターンを保証する柔軟な針設計です。SYRUS C1350は、高品質で信頼性の高いレジスト加工を提供し、ユーザーは高精度で複雑な構造を製造することができます。高解像度の電子回路や部品を製造するための貴重なツールです。多彩な機能を備え、様々な用途に対応した製品を製造することができます。