中古 LEYBOLD HERAEUS Syrus 1105 #293819408 を販売中

LEYBOLD HERAEUS SYRUS 1105は、半導体チップや光学デバイスなどの小型部品のマイクロパターニング用に設計されたデジタルフォトレジスト機器です。このシステムは高度な制御インターフェースを備えており、露出パラメータを正確に制御して、細部の高解像度パターンを生成します。このユニットは、最大8レベルの感度で最大8インチウェーハをサポートできる電動ウェーハステージを備えています。ステージはXYZプラットフォームに搭載され、フォトレジストを希望のパターンにさらすためにコーティングされたウェーハを回転させるように設定することができます。オンボードタッチスクリーンは、パラメータの正確な入力を可能にし、X、 Y、 Z軸の設定、露出時間、エネルギー設定、およびUVエネルギー設定の調整を可能にします。SYRUS 1105は、精密な露光時間とパターニング精度を確保するために高度なイメージングマシンを採用しています。このツールは、最大5メガピクセルの解像度を備えた統合CCDカメラを備えており、ウェーハの正確な位置決めとパターン化された領域のイメージングに使用できます。このカメラは自動化されたシータ軸に搭載されているため、回転ウェーハに対して画像資産を正確に角度アライメントできます。また、コーティングされたウェーハ上で正確なパターンアライメントを確保するためのオプションのレーザーアライメント装置も搭載しています。このシステムは、ウェーハステージ、露光時間、エネルギー設定、およびUVエネルギー設定を制御する高度に自動化されています。内蔵の真空ユニットは、露出プロセス中にウェーハを確実に保持し、ウェーハとフォトレジスト間の一貫した圧力接触を保証します。最後に、機械は人員および装置を保護する安全用具が装備されています。この資産は、突然の緊急事態が検出されたときに露出プロセスを遮断するように設計されています。全体として、LEYBOLD HERAEUS SYRUS 1105は、小型部品の精密マイクロパターニング用に設計された高度なデジタルフォトレジストモデルです。露光パラメータの精密な制御と自動ウェーハの動きを実現し、細部の高解像度パターンの生産を可能にします。さらに、安全システムは、人員と機器を保護するために設置されています。