中古 LEYBOLD HERAEUS ARES 1350 #9228483 を販売中

LEYBOLD HERAEUS ARES 1350は、マイクロエレクトロニクス製造用に設計された高精度フォトレジストドライエッチング装置です。このシステムは、高度なフォトリソグラフィーを含む高度なリソグラフィープロセスのユニークな組み合わせを利用して、1ミクロン以下の解像度で非常に小さな複雑なパターンをウェーハ上で作製します。高出力レーザー照明をはじめ、紫外線に敏感なレジスト素材を効果的に加工することができます。コーティング基板を使用したダイレクトライトパターニングにも使用できます。また、ARES 1350は業界をリードするパフォーマンスを提供し、他のフォトレジストドライエッチングシステムと比較して、より良い結果と最高の歩留まり率をもたらします。マイクロメーターレベルへのアライメント精度を最大化する高度なダイナミックアライメントツールにより、精密なエッチングプロセスを提供することで信頼性が高くなります。LEYBOLD HERAEUS ARES 1350アセットは、加工チャンバーとレーザーチャンバーの2つのパーツで構成されています。レーザーチャンバーには、高性能レーザーソース、フォーカス出力ビーム、および効率的なダイレクトライトパターニングを可能にする高度な機能が装備されています。さらに、より高い精度、より良い制御、およびプロセスの安定性を向上させるために、堅牢な自動電子ビーム微解像制御装置（FEB-FERES）を搭載しています。さらに、ARES 1350システムは、調整可能な圧力制御と温度制御も可能であり、フォトレジストエッチングプロセスのより柔軟性とより良い制御を可能にします。このユニットは、高性能の空気ろ過機でも設計されており、より良いジョブ性能とクリーンルーム操作を保証します。LEYBOLD HERAEUS ARES 1350は優れた性能を提供し、マイクロエレクトロニクスの生産に最高の収量をもたらします。ARES 1350は、高精度、堅牢な制御、高性能レーザー照明により、信頼性の高いフォトレジストエッチングプロセスを提供し、生産時間の短縮、歩留まりの向上、コスト削減を実現します。