中古 LEYBOLD HERAEUS ARES 1100 #9055005 を販売中

LEYBOLD HERAEUS ARES 1100は、精密抵抗部品の製造を支援するように設計された完全に自動化されたプログラム可能なフォトレジストスピンコーティング装置です。このシステムは、最高のコーティング品質を確保するために、ARES 1100コーティングと準備コンセプトを利用しています。LEYBOLD HERAEUS ARES 1100には、基地局の真空ユニット、メインコーティングチャンバー、プレクリーナーチャンバー、ポストクリーナーチャンバーが装備されています。フォトレジスト、ポリイミド、レーザーレジストなどのウエハー、基板、その他の部材の精密コーティングを可能にするように設計されています。ARES 1100マシンは、自動プロセス制御、時間制御堆積サイクル、統合されたプロセス監視、統合された計測監視、狭いレジストアーキテクチャ設計、および高度なレジスト転送技術を含むいくつかのユニークな機能を備えた精密コーティングと準備コンセプトを利用しています。このツールは、フォトレジスト、ポリイミド、レーザーレジストの反復可能で高品質の厚膜コーティングを一貫した再現性のある結果を提供するように設計されています。さらに、この資産は、ユーザーにいくつかの追加の利点を提供します。レイボルド・ヘレウス・アレス1100は、厚さ0。2um、薄さ100nmのウェーハをコーティングすることができます。モデルのメインコーティングチャンバーは、3「ウェーハ、4」ウェーハ、6「ウェーハ、8」ウェーハなど、さまざまなウェーハ形状とサイズにも対応できます。さらに、統合されたプロセスおよび計測モニタリングにより、蒸着プロセス中のウェーハの厚さと接着性をリアルタイムで監視できます。ARES 1100は従来のスピンコーティング法と比較して処理時間を大幅に短縮します。また、ウエハサイズや形状を精密に制御することができ、正確な膜厚の迅速かつ正確な蒸着が可能です。最後に、この自動化された装置の機能のために、手動で調整する必要はなく、大量の生産環境での使用に最適です。