中古 LEYBOLD HERAEUS ARES 1100 #9054497 を販売中

LEYBOLD HERAEUS ARES 1100は、フォトレジスト加工などの製造工程で使用される高精度の微細加工装置です。この装置は、高精度のエッチングおよび成膜機能、および正確なオーバーコーティングプロセスを提供します。ARES 1100システムは、光電制御ユニットを使用し、幅広い基板をエッチングしてコーティングすることができます。これは、最大4。7インチのサイズと最大20ミルの側長で基板を処理する機能を持っています。このマシンには、統合された自動ウェーハハンドリングツールが付属しており、クローズドループのフォトマスク評価アセットも備えています。LEYBOLD HERAEUS ARES 1100は、光学的に強化されたOMVD （Muddled Vapor Deposition）プロセスを使用して、材料のエッチングとコーティングを行います。特殊な薄膜を微細・精密加工用途で正確に成膜できる独自のエッチング・成膜技術です。このモデルには、精密で正確なエッチングおよびコーティング公差を確保するための高度な光学制御装置が付属しています。このシステムには、基板上の絶妙な複雑なパターンをエッチングするために使用できるカスタマイズされたフォトマスク設計など、さまざまな機能が搭載されています。また、エッチングおよび蒸着プロセス中に基板を洗浄し、汚染を防ぐために使用できるエアフローオプションも提供しています。また、ARES 1100ユニットは、エッチングおよび蒸着プロセス中のリアルタイム特性を測定することができ、ターンアラウンドの高速化と高品質な機械性能を実現します。このツールは、精密温度制御などの機能を備え、1時間あたり最大30ウェーハを処理するように評価されています。結論として、LEYBOLD HERAEUS ARES 1100は、フォトレジスト加工およびその他のエッチングおよびコーティング用途に使用される高度な精密加工資産です。このモデルは、高精度のオーバーコーティング、堆積、エッチング機能、および自動ウェーハ処理を提供します。また、エッチングおよび蒸着プロセス中のリアルタイム特性を測定することができ、迅速なターンアラウンドと高品質の結果を得ることができます。