中古 LEYBOLD HERAEUS A 1100 #9109459 を販売中

LEYBOLD HERAEUS 1100は、ファインリソグラフィ処理に使用される高度なフォトレジスト開発装置です。このシステムは、極めて再現性の高い高精度な機能を生成するように設計されています。LEYBOLD HERAEUS A1100ユニットは、毎秒最大3000ミクロンの調節可能な速度で動作する、波長範囲（ER）と呼ばれる光学要素を備えたスキャナを備えています。照明の角度、フォーカス、露光時間、シャッタースピードの制御・調整が可能です。ビームオーバーラップのための正確なアライメントが特徴で、高精度かつ狭い線幅で高度なパターンを生成することができます。このツールは、さまざまなサイズと形状の異なる基板に取り組むことができます。このアセットは、安全で正確なレーザーアライメントモデルを使用してコンピュータ制御のアライメントも備えています。この装置は、手動またはコンピュータ制御のアライメント用に構成することができ、より高いレベルの自動化を可能にします。このシステムは、広い領域に正確なビームが重なるため、ウェーハリソグラフィに最適です。1100ユニットはフォトレジストに2段階の開発プロセスを使用します。最初のステップは、指定された要件に応じて、紫外線またはX線のいずれかの放射線源へのフォトレジストの暴露です。これにより、フォトレジスト材料の露出部分が硬化します。開発プロセスの第二段階は、開発者の液体の使用を含みます。この開発者の液体はフォトレジストの非硬化部分を溶解しますが、硬化した部分は損傷を受けません。このようにして、ユーザーは提案されたパターンを正確に再現するパターン化されたフォトレジストサーフェスを作成することができます。A1100機械に多数の特徴および利点があります。最も重要な利点の1つは、非常に精密な機能を備えた非常に詳細なフォトマスクを生成する機能です。さらに、このツールは、正確なマスキングと基板の直接露出のための要素を自動的に整列することができます。高速で堅牢な処理能力により、大量の生産作業に適しています。これらすべての機能により、レイボルド・ヘレウスA 1100モデルはフォトリソグラフィに理想的なプロセスとなります。