中古 LEYBOLD HERAEUS 2450C #9152147 を販売中

LEYBOLD HERAEUS 2450Cフォトレジスト装置は、高度な半導体デバイスのフォトリソグラフィックパターニングを提供する高度なエッチングおよび処理システムです。4インチウエハーの両面マスクパターニングを可能にする2段クラスタ構成を採用し、接触アラインメントと近接アラインメントの両方で露出できるコンパクトで自動化されたユニットです。2450Cは、業界標準のPCSおよびCMPprocessingツールを使用して、プロセスの精度と信頼性を向上させます。業界をリードする精密なメカニカルウェーハアライメントマシンは、上面と下部のウェーハサイドのダークフィールドオーバーレイを正確に登録します。6軸ビームコントロールを備えた液晶イメージングモニターは、要求の厳しいリソグラフィ作業のために最高の解像度と強化されたコントラストを提供します。LEYBOLD HERAEUS 2450Cは、フォトレジスト処理の多くの重要な分野で優れた性能を提供します。温度制御された真空板が特徴で、基板への一定の温度と接着性を維持します。このツールには、歩留まりを改善するために高度なアルゴリズムを使用する自動露出と開発プロセスも装備されています。自動化された大型ディスペンスヘッドは、フォトレジストをウェーハに正確に分配し、均一な開発と最適化されたプロセス結果を得ることができます。2450Cには、フォトレジストコーティングを正確に制御し、レジストデブリポストコートを除去するスピンコーターが内蔵されています。その包括的なソフトウェアパッケージは、プログラマビリティのために設計されており、より効率的な処理のためにレシピとプロセスパラメータを保存するために使用することが。さらに、LEYBOLD HERAEUS 2450Cは、二重層パターン、多層パターン、上下層パターン、レジストストリップ、反応イオンビームエッチングなどの高度なフォトレジストプロセスをサポートしています。また、電気過剰防止やO2プラズマエッチングなどの高度な機能もサポートしています。このアセットは究極の柔軟性を目指して設計されており、最も要求の厳しいフォトレジスト処理アプリケーションのニーズを満たすためにアップグレードすることができます。最先端の機能セットとパフォーマンスを活用した2450Cは、最も複雑な製造プロセスを効果的にサポートする信頼性の高い強力なフォトレジストモデルです。LEYBOLD HERAEUS 2450Cは、デバイス製造のための精密フォトリソグラフィを必要とするあらゆるエレクトロニクス研究所にとって不可欠な資産です。