中古 LEYBOLD HERAEUS 1100 #293666815 を販売中
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LEYBOLD HERAEUS 1100フォトレジスト装置は、マイクロデバイスの製造における精密パターニングおよびドライフィルムラミネーションに使用される汎用性と信頼性の高いツールです。フォトレジスト(photoresists)は、光のパターン化されたビームにさらされることができる光感受性材料の一種であり、その後、基板に転送されます。このプロセスは、様々な集積回路やマイクロエレクトロニクスデバイスの生産に不可欠です。1100システムはフォトレジスト処理に2つの主要なコンポーネントを使用しています。高度な電子ビームリソグラフィーツールとドライフィルムラミネーションステーションです。電子ビームリソグラフィーツールは、パターンを描画し、基板上に直接フォトレジストを露出するために使用されます。高精度で高解像度の機能と高いスループットと再現性を提供し、デバイスの効率的で一貫したパターニングを可能にします。乾燥したフィルムのラミネーションの場所がパターン化されたイメージを基質に移すのに使用されています。ラミネーションステーションのフォトリソグラフィーマスクを使用して、2段階の真空と熱プロセスを使用して、画像を基板に転送します。ドライフィルムの光パターニングへの露出を調整し、検証目的で簡単にテストすることができます。LEYBOLD HERAEUS 1100はコンパクトで効率的なため、1つの基板パターンでマイクロスケールおよびナノスケールのパターンを作成できます。ユニットは高速で信頼性が高く、高い再現性を備えた高解像度パターニングを実現します。高度に自動化された機械にまた単一の生産ラインの他の用具と連結される機能があり、人員を減らし、効率を高めます。1100は半導体およびマイクロエレクトロニクスの生産のための理想的な選択で、最低の手動介入の高速そして高精度で信頼でき、再現可能なパターンを提供します。この柔軟性、信頼性、ユーザーフレンドリーなツールは、さまざまな種類のマイクロサーキットやマイクロデバイスに最適です。
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