中古 LEYBOLD CCS 250 #9236185 を販売中

LEYBOLD CCS 250は、シリコンウェーハの表面に保護されたエンコードされた画像やパターンを作成するために使用される最先端のフォトレジスト機器です。CCS 250は、最大250mmの基板サイズにフルカバレッジを提供し、複数のウエハにわたって大きな均一なパターンを生成できます。システムには、3つのプロセスモジュール、開発者、プレベーク、およびポストベークが装備されています。開発者モジュールはウェットプロセス開発者であり、基板からフォトレジスト残留物を絶えず洗い流し、きれいで正確にパターン化された表面を残します。プレベークモジュールは熱処理を使用して、フォトレジストフィルムの基板への接着性を高めます。最後に、postbakeモジュールは、ウェーハ上のフォトレジストコーティングを治すために短いUV活性化ステップを利用します。LEYBOLD CCS 250のプログラミングインターフェースにより、パターン幅、解像度、露光時間、後処理などの操作設定や動作モードを簡単かつ正確にプログラムできます。CCS 250の先進的なデザインは、独立した高性能Lambertianエミッタを備えた4つのジャンクション式ライトチャンバーを特徴としています。これにより、通信から医療、光学、ディスプレイ、マイクロアセンブリ、精密部品、フラットパネルディスプレイ部品まで、フォトレジスト加工に必要な光の正確な選択と制御が可能になります。LEYBOLD CCS 250は、自動自己診断、フォトレジスト処理における残留物の蓄積の測定、プロセスパラメータのオンラインモニタリングなどの高度なプロセス制御機能を備えています。これにより、すべての実行で最適なパフォーマンスが提供されます。CCS 250はまた完全な基質の保護のための液体のフォトレジストの温度調整の単位および窒素プラズマカバレッジ機械を含む優秀な基質の保護を、提供します。これにより、基板表面がプロセスで損傷しないことが保証されます。最後に、LEYBOLD CCS 250は、お客様のニーズを満たすために、比類のないプロセスの安定性、生産性、柔軟性を提供します。カラーパターン認識、メモリスキャンなど、多数のオプションコンポーネントを追加できる拡張設計を備えています。要約すると、CCS 250フォトレジストツールは、シリコンウェーハの表面に保護されたエンコードされた画像とパターンを作成するための最先端のプラットフォームです。それは優秀な基質の保護、高められたプロセス安定性、および顧客の要求および適用を満たすために前例のない柔軟性を提供します。