中古 LEYBOLD CCS 250 #9156339 を販売中
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販売された
ID: 9156339
ヴィンテージ: 1998
Coater
Polycold PFC 550HC
HSV-6 e-gun
Atlas clean air laminar flow cabinet
Vacuum system configuration:
D65B Rotary vane pump
LEYBOLD 1100C turbo molecular pump
POLYCOLD PFC 550-HC
Evaporation sources:
(6) Electron beam evaporator
Commonwealth scientific corporation mark I ion source
Control system: Industrial PLC based operating system
CHC60:
(13) Station cleaning line
Hard coating
Allen bradley panel view 1000 CNC control
(2) Resin curing ovens
Electrical supply: 400 / 415V, 50/60HZ, 3tp & neutral (20A)
Total power rating: 8.3kW
Normal running: 4.5kW
Air supply: 6mm Plastic pipe at 4 bar
Water supply: 15mm / 1/2 BSP Female (speed-fit) connection
Drain:
Foul sewer:
One 22mm / 3/4 BSP Female (speed-fit)
One 15mm / 1/2 BSP Female (speed-fit)
Connections:
Water & chemical
De-ionised water
Fume extraction: Φ150mm, 150cfm
1998 vintage.
LEYBOLD CCS 250 Photoresist Equipmentは、従来の手動ウェット処理技術よりもコスト削減と処理効率の利点を提供する統合機能を備えた、生産スケールの自動フォトレジストマシンです。このシステムは、光学、通信、イメージング、およびその他のアプリケーション用のリソグラフィーベースのフォトマスクの製造用に設計されています。精度と再現性に優れた高精度の光学ステージと、その他の業界標準の機能を備えており、作業時間と生産時間を節約します。このユニットは直感的なユーザーコントローラを備えており、1つのポイントからさまざまな機能に簡単にアクセスできます。コントローラはプログラミングを簡素化し、シンプルなメニュー構造により、動作モード、露出時間、およびその他の機械固有の機能を簡単に選択および制御できます。さらに、高度なオートメーションによりサイクルタイムを最小限に抑え、一連の可聴アラームと視覚アラームによってオペレータの利便性が向上します。CCS 250には、イメージング段階と処理段階の両方をハンズオンで制御できるオートメーションツールが内蔵されています。機械のオートメーションは、プロセスの一貫性を高め、ジョブのセットアップを容易にし、出力を最大化するように設計されています。このアセットには、化学物質の使用を制御するためのさまざまな機能も含まれており、特定のジョブに必要な量の化学物質だけが使用され、コスト削減と廃棄物の削減につながります。さらに、最大32個のレシピを保存することができ、さまざまな種類のジョブの特定のプロセス設定をすばやく呼び出すことができます。このマシンは、人々と環境を保護するために設計された安全指向の機能のホストを持っています。例えば、汚染マスク検疫機能は、安全リスクを低減し、PCBまたは有機化合物の汚染の可能性を最小限に抑えるように設計されています。その他の安全機能には、10秒以上にわたって照明が中断されている場合の自動リセット、新しいフォトマスクが同時に照らされないようにするためのケミカルシャットダウン機能、予期しないソースのオーバーライドや化学物質の流出が発生した場合の照明を無効にすることでフィルムの損傷を防ぐための機能があります。LEYBOLD CCS 250は、パフォーマンス駆動設計と最新のオートメーション技術を組み合わせた最先端のフォトレジストモデルです。この装置は、迅速なプロセス実行と正確な結果を提供するため、生産規模のオペレーションに最適です。ルーチンタスクを自動化することで、手作業の必要性を低減し、より高い生産速度を確保し、魅力的なコストと時間の節約につながります。
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