中古 LEYBOLD CCS 250 #293829329 を販売中

LEYBOLD CCS 250は、マイクロサーキットまたは電子デバイス部品の製造に使用するために、正確かつ確実にメーター抵抗マスクに設計された露光前フォトレジスト装置です。このシステムは非常に精密であるために作られ、複数の光学および電気センサーを使用してフォトレジストマスクの品質を検査し、生産に使用されます。CCS 250は、フォトレジストマスクのマスタリングを簡素化し、合理化するために開発されました。マスクはCADユニットを使用するか、細かいチップペンを使用して手動で生成されます。その後、光学センサーと電気センサーを組み合わせてマスクを検査します。光学センサーはマスク表面全体のフォトレジストの存在を検出し、電気センサーはマスクの特定の領域で電気伝導性を検出します。光センサーまたは電気センサーの読み取りに異常がある場合、LEYBOLD CCS 250はユーザーに警告し、問題を修正するための詳細なエラー情報を提供します。マスクが最初の検査に合格したら、フォトレジストマシンのXYステージに配置されます。CCS 250のXYステージはツールの焦点です。マスク寸法やその他の光学特性を自動で正確に測定できます。ステージは4つのDCモーターのシリーズによって動力を与えられ、ステージの動きはコントローラーカードによって正確に制御され、これはすべての位置とエラーデータのデータロガーとしても機能します。LEYBOLD CCS 250はマスク材料の抵抗率を正確に測定し、最終的なマスクが優秀な質であるように露出プロセスを自動的に調節できます。モデルにはオートフォーカス資産が含まれており、マスクを正確に集中させることができます。この機器にはマスクのデータベースも搭載されており、同様のフォトレジストマスクの再現性を確保しています。全体として、CCS 250は、マイクロサーキットまたは電子デバイス部品の製造に使用されるフォトレジストマスクの正確で信頼性の高い計測用に設計された、露出前フォトレジストシステムです。このユニットは、複数の光学センサーと電気センサーを使用して、オートフォーカス機で抵抗を精製する前にフォトレジストマスクの品質を検査します。また、マスクのロードされたデータベースも含まれているため、繰り返し可能な結果を得ることができます。