中古 LEYBOLD APS 904 #9240499 を販売中

LEYBOLD APS 904は、リソグラフィとデバイス製造を目的とした感光材料を基板に露出するように設計されたフォトレジスト機器です。クロム、イリジウム、またはニッケルベースのレジストプロセスを使用して、サブミクロン分解能、高精度、クリーンエッジプロファイルを提供します。APS 904は、リソグラフィ用途にデジタルイメージング技術を活用した最先端のシステムです。このユニットは、0.3µmのように小さな基板に画像を刻印することができます。この解像度を達成するために、マシンはビームスプリッタを通過する光源を使用し、垂直出力ビームを維持するために、マルチレベル光プロジェクションツールに。画像処理は、ビームをデジタル的に集中させ、コンピューター制御のレンズとミラーのプレートを通過させることで実現されます。これらは、基板上に投影されたオブジェクトの仮想イメージを形成するように配置されています。LEYBOLD APS 904は、デュアルインラインフォトレジストアセットを備えています。このモデルは、1。45を超える光学密度を持つ特殊な超低吸収ガラスを使用して「、背景」露出レベルを効果的に低減します。装置に0。5から0。1秒の増分の1秒に調節することができる可変的な繰り返し率があります。これにより、精密なリソグラフィ印刷が可能になり、スループットが向上します。さらに、APS 904は空中粒子検出用の半自動システムを備えています。このユニットは人工的に照射されるため、空気中で吊り下げられた粒子の大きさと位置を診断することができます。過剰な空中粒子が検出されるとフォトレジストツールが停止するようにプログラムすることができ、リソグラフィープロセスの安全性が向上します。LEYBOLD APS 904には、レジストコーティングと接着を制御するデュアルステージ、低真空アセットも装備されています。デュアルステージ真空モデルは、荒削りポンプと分子ポンプで構成されています。これにより、閉じ込められたガスを効率的に除去し、きれいな真空環境を実現します。全体として、APS 904は信頼性が高く正確なフォトレジスト装置であり、高解像度の画像を安全かつ効率的に作成できます。技術の革新的な使用とユニークな機能により、システムはさまざまなリソグラフィ用途に簡単に適応できます。