中古 LEYBOLD APS 1104 #9394890 を販売中

LEYBOLD APS 1104は、先端技術デバイスの製造に使用される高性能フォトレジスト機器です。それは処理の優秀なフォトレジストの性能そして精密のために設計されています。APS 1104は、サブミクロン分解能の向上、動作範囲の拡張、汚染の低減を特徴としています。このシステムは、定義済みのパターンを基板に適用するために、精密な光線を使用します。パターンレスビームはレーザー光源によって生成され、感光性抵抗材料を含むセルに投影されます。光にさらされると、抵抗材料の特性を変更する化学反応が起こります。このプロパティの変更により、目的のパターンを基板に転送できます。LEYBOLD APS 1104には、簡単なパターンマスク設定、自動パターニング、および正確な画像制御を可能にする多機能コントローラが装備されています。コントローラは、調整可能なレーザー出力制御も備えており、各ジョブで最適な動作を実現します。また、シャッターシールをタイトにすることで汚染を最小限に抑え、マスクと基板の界面の粒子を低減します。さらに、機械のダイナミックレンジを拡張することで、多種多様なパターンサイズや形状の加工が可能になります。また、非常に均一な解像度を提供し、より正確な処理につながります。この性能の向上は、高度な光学光学とコントローラの自動パターンコントロールによるものです。全体として、APS 1104は優れた性能と精度を誇る高度なフォトレジストツールです。統合されたレーザー光学、自動化されたパターン制御、および堅いシャッターシールは信頼でき、反復可能な結果を保障します。ダイナミックレンジを広げることで、より高い精度で多種多様なパターンや形状を生産することができます。したがって、ファインピッチデバイスや次世代技術製品の迅速かつ信頼性の高い生産に最適です。