中古 LEYBOLD APS 1104 #9308995 を販売中
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ID: 9308995
Evaporator
High Voltage Power Source (HVPS)
(2) OMS3000 Insitu-photometer optical monitering systems
POLYCOLD PFC-1101
DIP 12000 LEYCOM Diffusion pump
D65B-WS501 Pump
Q-Sensor crystal controller
(2) EB Guns ESV14
APS-SF Source
Vacuum chamber
Power supply cabinet
(2) Cabinets
(2) IO Cabinets.
LEYBOLD APS 1104は、ガラス基板、シリコンウェーハ、有機ポリマーフィルムなどのフォトレジストや基板に使用するために設計されたフォトレジスト機器です。集積回路、フラットパネルディスプレイ、オプトエレクトロニクスデバイスの製造に最適です。APS 1104は、フォトレジストの制御層を目的の基板に堆積させることができます。これは、正確で均一なレジストカバレッジを確保するために、マルチレベルのレジストジェット技術を採用しています。レジストジェットシステムは、望ましい層の厚さに応じて簡単に調整されます。さらに、このユニットは、ユーザーがレジスト流量を制御し、所望の堆積を達成することができ、調整可能なノズルサイズを備えています。さらに、レジスト流量とパターニングを自動化するための統合マシンが含まれています。LEYBOLD APS 1104はまた、解像度、露出時間、パターンサイズなどのパラメータを使用してツールをプログラミングできるインテリジェントで直感的なハードウェアとソフトウェアインターフェイスを備えています。これにより、アセットは非常に適応性が高く、使いやすくなります。APS 1104はベースユニット、レジストソース、レジストスプレーヘッド、電源、ソフトウェアモジュールで構成されています。ベースユニットはレジストディスペンスメカニズム、スプレーヘッド、電源、ソフトウェアモジュールなどの主な動作メカニズムを内蔵しています。レジストソースにはレジストが含まれており、均一で正確な層の厚さを処理できるように設計されています。レジストスプレーヘッドは、あらかじめプログラムされたレジスト量を指定された基板に正確に供給するように設計されています。電源は、モデルを動作させるために必要な電力を供給するために使用されます。最後に、ソフトウェアモジュールは、機器のパラメータを定義する事前定義された設定を作成するために使用されます。全体的に、LEYBOLD APS 1104は、さまざまなタイプの基板にフォトレジストを堆積させるための理想的なシステムです。それは精密で、均一抵抗の適用範囲を提供するように設計され、ソフトウェアモジュールは容易なプログラム可能性を保障します。
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