中古 LEYBOLD APS 1104 #9287235 を販売中

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製造業者
LEYBOLD
モデル
APS 1104
ID: 9287235
Coating machine (2) Guns Copious cooling Crystal control Ion source.
LEYBOLD APS 1104は、高度な回路基板およびマイクロシステムの製造において信頼性と費用対効果の高い結果を提供するように設計された高精度フォトレジスト装置です。これは、効率的なフォトレジストコーティングプロセス、精密露出、および効率的なベーキングと開発を含む高度なシステムアーキテクチャを備えています。APS 1104は、フォトレジストとスピンコーティングを基板に適用するために、4軸ロボットとマイクロディスペンスポンプの組み合わせを使用しています。この精密単位は公差+/-5%の正確で、反復可能なフィルムの均等性および厚さを維持するのを助けます。機械の自動化された操作と手動操作の両方が可能です。露出して開発したフォトレジストは、ピコストリッピング、ウォーターストリッピング、プラズマエッチング技術を組み合わせて正確に除去できます。このツールはさらに真空チャック成膜ツールを備えており、後処理、基板成形、フィルム分離、ノッチエッチングを可能にし、複雑なサブミクロン構造をもたらします。LEYBOLD APS 1104は、ガラス、プラスチック、各種合金など多種多様な材料で構成される剛性と柔軟性のある基板の両方をパターン化するために使用できます。さらに、最小線の幅が0。7umしかない細かい構造をパターン化することができます。メンテナンスコストを最小限に抑えるために、APS 1104はユーザーフレンドリーで直感的なソフトウェアで設計されています。ハイエンドのマルチチャンネルパルスソースとセンサーは、最高品質の結果と露出量の低さを保証します。モジュラー設計により、カスタム構成が特定のユーザーの要件を満たすことができ、明確なチャンバー設計により、一貫した信頼性の高い結果が保証されます。全体として、LEYBOLD APS 1104は、高度な回路基板およびマイクロシステム向けの信頼性と費用対効果の高い開発およびプロトタイピングソリューションを提供します。
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