中古 LEYBOLD APS 1104 #293794881 を販売中
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LEYBOLD APS 1104は、半導体ウェハの生産環境内での制御および自動ウェット処理用に設計されたフォトレジスト機器です。APS 1104システムは、2レベルの設計を採用したオープンフレームプラットフォームであり、生産環境で最大限の効率と安全性を実現します。4個の個別処理モジュールを備えており、それぞれ独立して各モジュール専用の制御で動作し、理想的なプロセス制御を可能にします。ユニットの上部は、ローディングステーションから4つの処理モジュールにウェーハを輸送するコンベアで構成されています。コンベアはあらかじめ決められた速度と間隔でウェーハを動かすためにプリセットすることができ、繰り返し可能で正確なプロセス時間を可能にします。マシンの下位レベルには、各モジュールのプロセスチャンバーがソリューションを引き出す処理ソリューションタンクが含まれています。この機械の4つの処理モジュールは、半導体ウェハのウェット処理に使用されます。最初のモジュールは、ウエハ表面にフォトレジスト材料を適用して、レジスト回転プロセスを実行します。2番目と3番目のモジュールはそれぞれ開発と注入を行い、最後のモジュールはフォトレジスト材料を除去するための除去プロセスを実行します。これらの4つのモジュールはそれぞれ、パドルで構成されたロータリードラムを使用して、ウェーハの両側を同時に処理するのに適したプロセスチャンバー内でウェーハを輸送します。プロセスドラムには加熱素子と制御が含まれており、正確な温度設定とプロセス制御が可能です。LEYBOLD APS 1104は、多くの組み込みの安全機能も提供します。このツールは、オペレータの位置から最大限のアクセシビリティと制御を可能にするように設計されており、アセット全体をフロントパネルから監視できます。警報システムと警告灯は、オーバーフローするタンクまたは動作温度制限に達するマシンから潜在的な危険をオペレータに警告することができます。APS 1104は、自動半導体ウェット処理のための優れたフォトレジストモデルであり、生産環境に最大限の安全性、精度、効率を提供します。
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