中古 LEYBOLD APS 1104 #293618526 を販売中

LEYBOLD APS 1104は、高精度マスク製造、検査、計測用に設計されたフォトレジスト機器です。先進生産制御ユニット（APS）と最先端のフォトレジストプラットフォームを組み込んだ自動プロセスシステムです。APS 1104は、高度な精密フォトレジスト技術を使用して、レチクルやマスクの製造および計測プロセスを実行することができます。このプロセスには、フォトリソグラフィのパターン化されたレジストを作成するためのフォトレジストの回転、露出後のベーキング、冷却、および開発が含まれます。フォトレジストプロセス全体の設計と制御は、同じAPSプラットフォーム上の単一のワークフローで行うことができます。このマシンは、2段階のレチクルタイル、非接触/接触制御、複数波長計測およびイメージング、バーコードトラッキングなどの最新のフォトレジスト技術を利用しています。直感的なユーザーインターフェイスを使用して設計されているため、フォトレジストの生産および計測を簡単に制御および最適化できます。LEYBOLD APS 1104は、カスタマイズ可能な制御ツールを備えており、マスク製造プロセスの自動最適化を可能にし、生産スループットを最大化し、サイクル時間を短縮します。APS 1104はまた、品質管理機能の完全なスイートを含む標準およびカスタムイメージングソリューションの広い範囲を提供しています。高解像度のZeiss顕微鏡とAIITM （Accurate Image Interleave）アセットにより、さまざまなフォトレジストの最小欠陥を検出できます。また、フォトレジストパターンを現場で解析するための走査型電子顕微鏡（SEM）も搭載しています。さらに、LEYBOLDポートフォリオの一環として、LEYBOLD APS 1104は、RTP、充電、ボンディング、転送などの優れたダウンストリーム機能を備えています。これにより、顧客はフォトレジストパターンを素早く正確に好みの基板に移動することができます。要約すると、APS 1104は、高精度マスク製造、検査、計測用に設計された高度なフォトレジスト機器です。フォトレジストプロセス全体を直感的に制御し、生産管理システム、カスタマイズ可能なイメージングソリューション、優れたダウンストリーム機能を備えているため、高精度のマスク作成に理想的なソリューションです。