中古 LEYBOLD A 1504 #293621527 を販売中

製造業者
LEYBOLD
モデル
A 1504
ID: 293621527
ヴィンテージ: 2008
Evaporator Workstation Gun POLYCOLD System (2) Pumps E-Beam gun power supply No plasma source Power supply 2008 vintage.
LEYBOLD A 1504は、プラスチック、金属、セラミックスなどの基板上に高精度なパターンを生成することができるLEYBOLD Optics社製のフォトレジスト機器です。薄い材料や壊れやすい材料など、特殊な加工が必要な繊細な基板に適しています。1504は正と負の両方のモードで動作し、ユーザーはさまざまな厚さのフォトレジストフィルムに複雑なパターンを作成することができます。フォトレジストは、基板を紫外線にさらすことで基板表面に形成されます。放射線の強度は、基板に適用されるフォトレジストの量を決定します。LEYBOLD A 1504は、標準、高解像度、および超解像度の3つのレベルのパターンの精度を提供します。標準レベルは、20µmの精度でパターンサイズを提供します。10µm正確さの高リゾリューションのレベル;そして5µm精度の超解像度レベル。さらに、フォトレジストシステムは、20µmまでのミクロン精度レベルの低レベルのパターニングにも使用できます。1504は、真空ユニットとコンピューター制御温度制御を備えており、フォトレジストを基板にスムーズかつ均等に適用します。加熱された基板は、フォトレジストが均一なフィルムを形成するのを助けるのに役立ちますが、薄膜コンベアベルトは基板を露出ユニットに転送します。露光プロセスでは、高度な光学投影システムとコンピューター制御のUVランプと個々の露光領域を使用してパターンを生成します。このマシンは、ユーザーがツールの操作を構成、制御、および監視することができるリモートコントロールを備えています。この制御はまた、実行される露出の数、露光時間、および各UVランプのエネルギー出力に関する情報を提供します。さらに、ユーザーは、基板の温度と均一性と露出パターンの品質を監視することができます。高精度の機能に加えて、LEYBOLD A 1504は基板の容易な積み下ろしを可能にします。この資産はまた低い維持の条件のために設計され、長い耐用年数を提供します。そのため、ユーザーは、この高度なフォトレジストモデルにより、ダウンタイムの削減と高品質の結果が期待できます。
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