中古 LB BOHLE BFC 400 #293799612 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293799612
ヴィンテージ: 2020
Tablet coater
Stainless steal 316L
Weld seams ground flush
Surface finish Ra ≤ 0.5 μm
Mech, mirror polished
Non metal materials Silicone, EPDM, PTFE
Suspension liquid contact parts:
Stainless steel 316L
Weld seams Ra ≤ 1.6 μm
Surface Ra ≤ 0.8 μm
Non metal materials Silicone, EPDM, PTFE
Cleaning water contact parts:
Stainless steel 316L
Weld seams Ra ≤ 1.6 μm
Surface Ra ≤ 0.8 μm
Non metal materials Silicone, EPDM, PTFE
Shrouding:
Stainless steel 316L or 304
Weld seams ground flush
Structural welds buffed but not
ground
Surface brushed or ground by vibration
Ra ≤ 0.8 μm, supporting welds
untreated
Non metal materials Silicone, EPDM, PTFE, Rubber
Safe guard rating IP 65
Explosion protection Installation in non-EX classified area
Technical data base machine BFC 400
Capacity: 450 liter
Pan speed: 0.5-15 rpm
Air flow volume, process: 2000-6000 nm³/h
Air inlet temperature: 30-80 °C
Number of spray nozzles: 8 Stk
Nozzle type: 930/7-1 S42ABC
Suspension flow: 60-600 g/min
Atomizing air pressure: 0-3 bar(ü)
Pattern air pressure: 0-3 bar(ü)
2020 vintage.
LB BOHLE BFC 400は、半導体産業におけるフォトレジストコーティングの精密かつ効率的な処理のために設計された洗練されたフォトレジスト機器です。この先進的なシステムは、高品質の医薬品や半導体加工装置で知られる有名なLB BOHLEによって製造されています。BFC 400ユニットは、フォトレジストアプリケーションで信頼性と再現性の高い結果を提供するために、最先端の技術を搭載しています。シリコンウェーハ、ガラスパネル、その他の電子部品など、さまざまな基板上の超薄型で均一なフォトレジストコーティングに対する半導体業界の厳しい要求に応えるよう設計されています。LB BOHLE BFC 400マシンの中心には、基板表面へのフォトレジスト材料の正確な分配と均一な分布を保証する精密コーティングヘッドがあります。コーティングヘッドには、精密な温度調整、圧力制御、調節可能な分注速度などの高度な制御機能が装備されており、異なるフォトレジスト材料およびアプリケーション要件のコーティングプロセスを最適化します。BFC 400ツールは、特定のユーザーのニーズとアプリケーション要件を満たすためのさまざまなカスタマイズオプションを提供します。それは異なった基質または異なったタイプのフォトレジスト材料の同時処理のための多数のコーティングヘッドと形成することができます。このアセットは、ポストコートベークステーション、溶媒蒸気チャンバ、およびUV露出ユニットなどの追加モジュールと統合して、完全なフォトレジスト処理ソリューションを提供することもできます。LB BOHLE BFC 400モデルの主な特徴の1つは、ユーザーがコーティングプロセスのさまざまなパラメータを正確に定義および制御できる高度な制御ソフトウェアです。ソフトウェアインターフェイスはユーザーフレンドリーで直感的で、オペレータがリアルタイムでコーティングプロセスをセットアップおよび監視することを容易にします。さらに、装置には自動化されたクリーニングとメンテナンスルーチンが装備されており、時間の経過とともに一貫したパフォーマンスと信頼性を確保します。BFC 400システムは、効率と生産性に重点を置いて設計されており、ユーザーはフォトレジスト処理において高いスループットと歩留まりを達成することができます。このユニットは、産業生産環境における長期的な性能と信頼性を確保するために、堅牢で耐久性のあるコンポーネントで構築されています。また、危険な化学物質やプロセスからオペレータや環境を保護するための安全機能を備えて設計されています。結論として、LB BOHLE BFC 400は、半導体処理の精度、信頼性、効率を提供する最先端のフォトレジストマシンです。高度な技術、カスタマイズ可能なオプション、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えたBFC 400ツールは、半導体業界の幅広いフォトレジストコーティング用途向けの汎用性の高いソリューションです。
まだレビューはありません