中古 LAURELL WS-400B-6NPP #293822285 を販売中

LAURELL WS-400B-6NPPは、薄膜成膜、エッチング、絶縁ラミネーション、フォトレジストコーティングなど、多くの光学加工アプリケーションに適したベンチトップフォトレジスト加工装置です。この高度なオールインワンシステムは、優れたパフォーマンスとタイトなプロセス制御をユーザーに提供するように設計されています。特徴的な温度制御プラットフォーム、強力な6kV電源、および4ゾーン拡散照明を備えています。温度制御プラットフォームは、80°Cまで温度に達することができる大規模な処理チャンバーを備えており、繊細なフォトマスクやレジスト層の正確な処理のために1°以内に設定することができます。4ゾーン拡散照明器は、25〜75 W/cm2の照明レベルを達成するために設定することができ、フォトマスクまたはウェーハの表面全体に均一な照明を提供します。これにより、レジスト層の均一で一貫した露出が可能になります。さらに、照明器は、リソグラフィ工程の微調整のために微細な単位で調整することができます。 の電源は最大出力 です。これにより、コンフォーマルな薄膜の堆積や、ウェーハやフォトマスク上に明確に定義されたエッチングパターンの形成が可能となり、タイトなプロセス制御が維持されます。LAURELL WS-400B-6NPPは、6kV電源を使用して深い溝や特徴をエッチングし、マイクロ流路などの構造物を正確に生成することができます。また、リソグラフィ工程におけるフォトレジストの正確な温度を測定する独自のレーザー誘導温度制御（LTC）装置を搭載し、サーマルドリフトを最小限に抑え、最適なリソグラフィ結果を保証します。また、ウェーハやマスクにレジスト層を均一に分注できる自動レジストコーティングツールも付属しています。これにより、正確かつ一貫した結果が保証され、レジストの手動分配による変動が最小限に抑えられます。全体として、WS-400B-6NPPはさまざまなフォトレジスト処理アプリケーションに適した高度で汎用性の高い資産です。精密な温度制御、6kV電源、4ゾーン拡散照明、自動化されたレジストコーティングモデルにより、ユーザーは正確で一貫したリソグラフィ結果を達成しながら、厳密なプロセス制御を実現できます。