中古 LAURELL WS-400B-6NPP/LITE #293629512 を販売中

LAURELL WS-400B-6NPP/LITEは、半導体、MEMS/NEMS、電子、医療機器業界のウェット処理アプリケーションに最適な完全自動フォトレジスト機器です。ローレルWS-400B-6NPP-LITEは独自のタンク設計により、マイクロチップやMEMSデバイスなどの少量の部品の高収量および高スループット生産に最適です。このシステムは、600mm x 400mmの可変深度true-tiltプラットフォームと20〜70°Cの温度範囲で可変深度調整可能なソリューションタンクを備えています。このユニットには、処理バスソリューションを密閉したままにするための統合された蓋と、処理バスドアの安全性を保証するロック可能なドアがあります。WS-400B-6NPP/LITEフォトレジストマシンは、プロセス制御の柔軟性のためのさまざまな機能を提供します。このツールには、事前にプログラムされた自動レシピと編集可能な自動レシピの両方があり、プロセス結果の精度と再現性を最適化するために、サイクルタイミング、可変、ステップバイステップのプロセスにいくつかのオプションを設定できます。人間工学に基づいて設計された制御資産により、アクセスと操作が簡素化され、ユーザーは自動レシピに素早く簡単にアクセスでき、温度、圧力、ガスの流れ、プロセス時間など、フォトレジストモデルのあらゆる側面を管理できます。マルチフロー洗浄マニホールドなどの高度な制御は、コーティングの精度と再現性を保証するために化学濃度を監視します。さらに、部品の完全なクリーニングと乾燥のためのハンドシャワーと自動サイクルシャッターが含まれています。タッチスクリーンモニターは、温度、圧力、時間を含むすべてのプロセスパラメータを便利に監視できます。WS-400B-6NPP/LITEフォトレジスト装置は、非常に小さな部品の高収率および高スループット処理のための信頼性と費用対効果の高い方法を提供します。高精度で効率的であり、メンテナンス要件が低い反復可能な結果を提供します。多目的な制御システムはほとんどすべての生産条件に適するためにプロセスステップおよび条件の広い範囲を許可します。このユニットは、マイクロ電子および精密MEMS部品の量産に最適です。