中古 LAURELL WS-400A-6NPP/LITE #9373271 を販売中

LAURELL WS-400A-6NPP/LITEは、任意の負のまたは正のタイプのフォトレジストを処理するように設計された完全に自動化されたフォトレジスト処理装置です。フォトレジストを処理するための効率的で信頼性の高いシステムを提供し、すべての処理パラメータを正確に制御します。このユニットは、露出した基板がロードされるトップローディングチャンバー、マルチチャンバー卓上プロセッサ、および真空ポンプで構成されています。トップローディングチャンバーは完全に密閉され、圧力監視機と温度制御ツールが装備されています。内部クリアランスが大きく、基板の積み降ろしが容易で、フォトレジストプロセス全体に適した環境を提供します。マルチチャンバープロセッサは、6+レジストソリューションの範囲を提供し、ベアシリコン、溶融シリカ、石英、サファイアなどの基板の範囲に取り組んでいます。シングルチャンバー設計は、アプリケーションに応じてオプションで選択することもできます。プロセッサはサブミクロンの特徴の分解能を可能にし、歪みのない優れた抵抗分解能を提供します。AQUA MULTI-PROCESSING、温度制御、PRECISION PROFILING、 ANALYSISなどの機能は、ユーザーに精密作業のための効率的なプラットフォームを提供します。また、このマシンは効率的なワークフローのために設計されており、ユーザーはトップローディングチャンバーに最大10基板をロードし、単層または複数層の処理を利用することができます。このプロセッサには、基板を経済的かつ効率的に洗浄するための洗浄、溶剤、スクラビングタンク、および溶液残留物を安全かつ迅速に除去するための排水資産が装備されています。オンボードプログラマブルコントローラは、使いやすいタッチスクリーンユーザーインターフェイスを備えており、そこから必要なすべてのプロセス設定を設定できます。ユーザーは、追加の制御、データ収集、データ分析を提供するD-TECソフトウェアで、モデルを構成し、リアルタイムでプロセスパラメータを監視することができます。LAURELL WS 400A-6NPP/LITEは、厳しい生産環境向けに設計された業界グレードのフォトレジスト処理ソリューションを提供しています。その高度な設計、堅牢な構造、優れた制御機能により、正確で一貫した再現性のある結果が得られ、メンテナンス要件を最小限に抑えながら信頼性の高い効率的なパフォーマンスが保証されます。