中古 LAURELL 650M #9409668 を販売中

LAURELL 650Mフォトレジスト装置は、レジストコーティングやウェット加工など、さまざまな産業プロセスに使用される高度な自動化機械です。このシステムは、1ミクロンの最小フィーチャーサイズで、優れたパターニング機能を提供します。さらに、このユニットの制御可能な温度範囲（0°C〜50°C）は、高精度で高精度なプロジェクトに適しています。窒素inertedワークチャンバー、統合された4位置ホットプレートと8インチのフォトマスクからなる650Mツールは、さまざまな生産アプリケーションの要求に応えるように設計されています。さらに、このアセットにはコンベアモデルが内蔵されており、複数のフォトレジストおよびモルダント材料と互換性があります。この装置には、複数のウエハまたは基板を同時に連続処理できるフィルム搬送ベルトが含まれています。速度と効率の面では、最大42ステーションで1時間あたり最大300ウェーハを処理できることが大きなメリットです。また、完全に不活性で窒素が充填された環境で動作するLAURELL 650Mの機能は、水と空気の汚染のリスクを排除し、クリーンルーム操作に最適です。品質を確保するために、650Mにはさまざまなセンサーと正確な制御システムが装備されています。このユニットは、PLC技術を使用して、圧力、温度、および成膜速度などのプロセスのすべての領域を監視します。さらに、クローズループ制御と広範なデータロギング機能を可能にする高度なコンピュータコントロールも備えています。さらに、LAURELL 650Mは、リモートモニタリングと制御のための便利なタッチスクリーンインターフェイスとイーサネット接続で簡単に操作できます。機械はまた物質的なホールダー、ノズルおよび他の付属品のための複数の選択と優秀な柔軟性を、提供します。要約すると、650Mフォトレジストツールは高度な産業プロセス自動化ソリューションです。非常に信頼性が高く、強力で、1時間に最大300枚のウェーハを処理でき、成膜速度と圧力レベルを優れた制御が可能です。さらに、内蔵のセンサ、PLC技術、データロギング能力、複数の材料との互換性など、高精度で高精細なアプリケーションに最適です。