中古 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9394308 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC RC 8は、高度なマイクロストラクチャリングとマイクロリソグラフィ用に設計された自動フォトレジスト装置です。アライナーと露出ヘッドを使用して、微細構造のパターン化で非常に正確な結果を達成します。MICROTEC RC 8は、レジストの回転と柔らかい露出の2段階のプロセスを備えています。レジストの回転は均一な厚さを保証し、露出ヘッドの強度と露出時間を制御する柔らかい露出が続く。KARL SUSS RC 8アライナーは高さ調節可能なステージを持ち、フォトレジストフィルムを回転させるための回転速度は最大3000rpmです。また、レーザダイオードアライメント、フォトツールの自動アライメント、レジスト/ベイク/ストリップコントローラ、視覚的に導かれたシステムを備えており、パターンを基板に正確にアライメントして転送することができます。露出ユニットは、露出時間0。03〜2。75秒の露出ヘッドと10 W/cm2の照明パワーを備えています。また、フォトレジストのフィルムを均一に露出させるためのコリメーターレンズも備えています。また、露光時にフォトレジストフィルムを固定するために、正確で反復可能なリニアモーションと真空チャックを備えています。このツールには、露出用のフィルムを準備するためのレジストプリベーク機能もあります。焼く部屋は175°C。までの前に焼く温度のための3つのサンプルホールダーを握ります。ストリップ/ストリッパーチャンバーは、サンプル表面からレジストを除去および洗浄するための6つのウエハキャリアを保持します。このアセットは、ウェーハの自動ロードとアンロード、および6までのレジストショットの管理も可能です。RC 8は、シリコン、ガラス、金属、プラスチックなどのさまざまな基板を処理できます。金、銅、アルミニウム、チタン、クロムなどの超薄型材料の製造にも使用できます。このモデルは、高品質の電子デバイス、光学フィルム、および生物医学用途の製造に広く使用されています。マイクロストラクチャリングにおける高性能かつ高度なアプリケーション向けに設計された自動装置です。