中古 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9365908 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC RC 8は、様々なフィルムやフォトマスク基板上で重要なエッチングやリソグラフィープロセスを行うフォトレジスト機器です。このシステムは、厳格な写真プロセスを使用して、集積回路用途のさまざまな基板に適用できる薄膜層にパターンを輪郭を描く。具体的には、直径400mmまでの基板に対応し、AZ、 GX1、 GX2、 PFEなど様々な特殊レジスト材料を加工することができます。ユニットは、基板全体のパターンのタイトな登録を確実にするために、高精度のアライメントマシンを使用しています。複雑な基板表面にレジストパターンを配置および形成するのに役立つ16点のオートフォーカスツールを含む。さらに、この資産は2つの基板移動レベルを利用するように設計されており、現場での登録に精度を提供するのに役立ちます。ダイレクトライトレーザーリソグラフィを可能にし、高速で複雑なパターンを高精度に作成するのに特に便利です。さらに、ドライエッチング、ウェットエッチング、ディープリアクティブイオンエッチングなどの積極的なアッシングおよびエッチング処理に最適化されています。ダイレクトライトレーザーリソグラフィに加えて、基板表面に直接パターンを露出させるために利用できるさまざまなフォトマスクを使用することができます。これにより、ダイレクトレーザーリソグラフィよりも高い精度でより詳細で複雑なパターンを作成することができます。MICROTEC RC 8は、高機能かつ低コストのプロセスを実現します。低電力・熱負荷用に設計されているため、迅速なプロトタイピングと高品質で複雑な詳細パターンの大量生産の両方にKARL SUSS RC 8を使用できます。さらに、その5µm精度により、パターンを複数の使用サイクルにわたって一貫した公差で複製することができます。全体的に、RC 8は、さまざまな集積回路アプリケーションのための複雑な精度でフォトレジストエッチングとリソグラフィープロセスを可能にするように設計されています。正確な登録で基板表面にパターンを露出させることができ、一貫した品質の複雑なパターンの量産に役立ちます。