中古 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9223422 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC RC 8は、半導体製造プロセスで使用される精密フォトリソグラフィ装置です。このシステムは、クリーンルーム環境下で、集積回路（IC）や電子機器に使用される部品や材料を提供するために機能します。ドイツのメーカーMICROTEC GmbHによって製造されたMICROTEC RC 8は、高度なフォトリソグラフィを産業規模の生産にもたらします。このユニットは、真空密封されたプロセスプレート（ウェーハチャック）とレチクルテーブルで構成され、プロセスプレートは4インチから8インチまでのサイズのウェーハをロードするために使用されます。これにより、パターン転送プロセス中にウェハが安全であることが保証されます。一連のレンズを使用し、レチクルパターンからの反射光をレンズがウェーハに向かって回収し、フォトレジスト素材で表面をコーティングします。このメカニズムは、レチクルテーブルからの光とミラーイメージの複製を連続的に露出させることにより、各ウェーハ上のコンポーネントを効率的に作成します。さらに、このマシンは可変ステッピングフィールドを可能にし、マスクアラインメントを設定する際に柔軟性を高めます。高精度なアライメント機能の統合と、回折と吸収による伝送光の抑制は、IC製造プロセスにさらなる利点をもたらします。KARL SUSS RC 8は、他のシステムと比較して優れたオーバーレイ精度により、パターン転送プロセスの成功を保証します。マスクパターンアライメントの究極の精度を確保するために、独立したスキャンとフォーカスフィールドを採用しています。フレームバッファとレーザービーム測定を組み合わせることで、照明レーザービームの測定によりさらに精度を向上させました。このアセットには、プロセス中のすべてのウェーハの最適な位置を監視するための自動ウェーハ追跡モデルが装備されています。クリーンルームの接続は、ガス分配システムとロボットウェハハンドラを内蔵しています。これらの高度な技術仕様は、ほぼすべての機会に優れたフォトリソグラフィ性能のユーザーを保証します。全体として、RC 8は高信頼性の製造装置であり、集積回路（IC）の生産に低コストで高性能なフォトリソグラフィ機能をもたらします。自動化されたウェーハトラッキングと独立したスキャンおよびフォーカス分野を採用することで、品質と寿命に優れたICチップを生産することができ、現在の多くの電子機器製造プロセスで大きな利点となっています。