中古 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9134145 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC RC 8は、最先端の高精度リソグラフィ用途向けに特別に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、リソグラフィープロセス全体を正確に制御しながら、優れた速度、精度、再現性を提供します。MICROTEC RC 8は、自動化された高解像度の8インチ（200mm）ウェーハ搬送およびハンドリングユニットを備えています。この機械はフィルムの露出、開発、ラミネーション、クリーニングおよび回転のような複数のリソグラフィ操作のために設計されています。それに肯定的な、否定的な抵抗および熱反応の抵抗を含むいろいろ異なった抵抗材料と、働く機能があります。このツールは、2「から8」 （50mm-200mm）までのさまざまなウェーハサイズと互換性があります。ガラス、石英、シリコンなどの基板にも対応可能です。MicrOptix™光学アライメントコントローラは、レンズのアライメントプロセスを簡素化および自動化し、最適な解像度と一貫したリソグラフィパターンを保証します。アセットの直感的なコントロールと包括的なモニターディスプレイは、オペレータに正確な制御とリアルタイムのフィードバックを提供します。自動化されたレチクル噴霧器モデルは、開発のためのレジストまたは複数の化学物質の正確な適用を可能にします。また、レジスト温度、速度、圧力を制御するためのオートメーションプロトコルも内蔵しています。このフォトレジストシステムは、優れた安全機能も備えています。統合されたシャワーユニットは光学および副産物を保護するために各露出の後で部屋を洗い流します。この機械には、危険な粒子や有害な発煙への曝露を低減する高真空/換気ツールも組み込まれています。この資産は、220Vの出口で動作します。KARL SUSS RC 8は、極めて精度と精度を必要とするあらゆるリソグラフィ用途に最適です。堅牢で正確な設計と最先端の自動化された機能により、あらゆるウェーハ処理施設に最適です。