中古 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9015890 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC RC 8は、非常に複雑なマイクロエレクトロニクス部品や構造の製造を可能にするフォトレジスト機器です。このシステムは、ステップドグレースケール（SGS）イメージング技術に基づいており、光の干渉を使用して樹脂を露出したり、複雑な灰色のトーンで材料に抵抗したりすることで、正確なパターンを実現します。MICROTEC RC 8は、幅広いフォトレジストで動作するように設計されています。それは標準的な否定的なまたは肯定的なphotopolizedフィルム、また液体ジェット機および分配された抵抗と使用することができます。さらに、低温プロセスを使用してレジストを基板に適用し、レジストのポリマーおよび接着特性を損なわないようにします。ダイレクトライトリソグラフィーヘッドを採用し、300 W/cm2のガンマ放射を実現し、空間分解能は5µmまで。KARL SUSS RC 8は、400 x 400 mmまでの基板サイズをサポートし、Z軸分解能で-3〜+25 mmの動作範囲を提供します。イメージングプロセスには、前露、後露、エッチング、ベーキングの4段階があります。これらのステージは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスによって管理されます。RC 8は、高精度と高速の両方の動作を実現することができます。最大3000個のウェーハ/時間処理が可能で、最適な結果を得るために照度と露光時間を自動的に調整します。このツールはまた、フォトマスキングプロセスからの高い歩留まり率を確保するために欠陥を特定して排除します。また、高精度露光制御のための温度補正やビームシェーピングなどの高度な機能を備えています。このアセットは、極めて薄いレイヤレジストアプリケーションのための高度な非接触抵抗もサポートします。MICROTEC RC 8は、複雑なマイクロエレクトロニクス製造に顕著な結果をもたらす包括的なフォトレジストモデルです。それは上限のマイクロエレクトロニクスの生産のための理想的な解決であり、革新的な設計および特徴は信頼できる収穫を保障します。