中古 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #293639578 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC RC 8は、レイヤーサイズが大きくなるウェーハ加工用に設計されたフォトレジスト装置です。このシステムは精密リソグラフィを提供し、集積回路上のパターンと機能を作成するために使用されます。光を利用して素材の特徴を活かした照明ユニットを内蔵しています。高精度のサーボアクチュエータを使用して、エンクロージャ内の光学系を正確に配置し、高速印刷を可能にします。光学系は、最大0。3ミクロンの解像度で調整可能な倍率を持っています。照明用具は材料を均等に露出するのを助ける調節可能な光源、シャッターおよびビームスプリッターで構成されます。複雑なパターンや形状を高速で作成できるデジタルマイクロミラーアセット（DMS）を搭載しています。MICROTEC RC 8モデルは、化学増幅フォトレジストの開発および暴露にも使用できます。幅広い素材に対応しており、コンタクトとプロジェクションフォトリソグラフィの両方に使用できます。それは自動ローディングおよび荷を下すこと、緊急停止ボタンおよびオペレータ誤りから余分保護のための作り付けの連結装置のような必要な安全機能が装備されています。システムには、プロセスパラメータを制御し、詳細な分析を可能にする内蔵のコンピュータも付属しています。KARL SUSS RC 8ユニットは、さまざまな基板上に回路を作成するための理想的なソリューションです。薄膜やナノ構造の作成にも使用できます。最小限の消費電力で信頼性の高い正確なパターンを提供し、産業および研究用途に最適なツールです。