中古 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #293627105 を販売中

ID: 293627105
Spin coater.
KARL SUSS/MICROTEC RC 8は、MICROTECとKARL SUSSによって開発された先進的なフォトレジストユニットです。このユニットは、乾式および液体フォトレジストソリューションを含む幅広いプロセス材料と互換性があります。MICROTEC RC 8は、装置のワークテーブルに真空で固定された任意の形状とサイズの基板を処理することができます。プロセスパラメータは基板の向きに応じて自動的に調整され、真空力は基板上で検出されたセンサーによって制御されます。KARL SUSS RC 8のワーキングチャンバーは、非常にきれいで明確なラインパターンを提供するチタン窒化物コーティングで構成されています。RC 8は、フォトレジストを基板に適用する物理的条件の操作を可能にします。ユーザーは、光源の強度、露光時間、レジストソリューションの温度、および浸漬溶液の温度を調整することができます。KARL SUSS/MICROTEC RC 8は、簡単なスプレーコーティングからソフトベークやビデオイメージングなどの複雑なプロセスまで、幅広い洗練された技術を使用してワークテーブル上の材料を処理します。これにより、MICROTEC RC 8は完全なフォトリソグラフィーシステムとなります。さらに、KARL SUSS RC 8は、プロセスのパラメータを制御するための高度なオートメーション機能を備えています。ユーザーは、基板温度とレジストの露出時間を制御するためのプログラムを定義することができます。RC 8ソフトウェアはプログラムでプロセスのパラメータを制御することができ、オペレータは単にユニットを監視することができます。また、露出時間を調整して、材料や基板表面のばらつきを補正したり、完成品の所望の特性を生成したりすることもできます。得られたフォトレジスト層は超薄型で、優れた解像度と優れた寿命と均一性を備えています。KARL SUSS/MICROTEC RC 8マシンは、製品パラメータの手動操作の必要性を低減し、欠陥のリスクを低減する高品質の画像を生成することができます。MICROTEC RC 8のオートメーション、技術的洗練、パラメータ制御の組み合わせは、サイクルタイムとコストを削減しながら、制御、品質、再現性の優れたレベルをユーザーに提供します。
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