中古 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 MS3 #26117 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC RC 8 MS3は、最高の精度と再現性を実現するモジュラー設計を採用したフォトレジスト機器です。クローズドループステージの動きが特徴で、200mmまでの各種基板の正確な位置決めと取り扱いが可能です。モーター駆動ユニットにより、長期安定性を実現しています。さらに、その調節可能なZ軸は、バンピングおよびリソグラフィープロセスのための基板の高さの変化を可能にします。このマシンは、短いウォームアップ時間と低振動で高性能な空冷Xeアークランプを備えています。特別に設計されたコンデンサーレンズは、FWHM角度が広いため、基板の均一な照明が得られます。7x〜100xの倍率範囲とテレセントリック光学を備えたこのツールの高解像度顕微鏡は、マスクの正確なアライメントを提供します。ウエハーから量産までの高度なプロセス制御が利用可能で、ユーザー制御が可能で、フォトマスクとウェハアライメントのリアルタイム監視を提供します。高感度の光学ユニビジョンヘッドを備えた高度な計測セクションは、高度なプロセスモニタリングを提供します。ソフトウェアでプログラム可能なスキャン速度は、UVランプの出力とフォトレジストの露出の間のクロストークを補償します。アセットの統合レジストミキシングステーションとエレクトロニクスは、完全に自動化されたレジストミキシング、ディスペンシング、スピンコート性能制御を備えています。MICROTEC RC 8 MS3は、トラックから自動および安全なフォトレジスト除去用の自動放電ユニットを備えており、異なる基板を容易に取り扱うための自動アライメント機能を備えています。さらに、このモデルはレーザー安全機能と温度監視機能を備えており、安全で信頼性の高い動作条件を保証します。KARL SUSS RC 8 MS 3は、国際規格および環境要件にも準拠しているため、ほとんどのフォトレジスト用途に適しています。