中古 KARL SUSS / MICROTEC RC 16 #9383648 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC RC 16は、さまざまな半導体およびMEMS製造プロセスで使用される最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、ポリシリコンベースの「レジスト」を使用しています。これは、光またはプラズマにさらされ、レジスト層のパターンを形成するレジスト内で化学反応を引き起こします。MICROTEC RC 16ユニットは、専用の投影機でレジスト層を光やプラズマに露出させることで動作します。光はレジストの分子構造を開き、レジスト層に化学反応を起こす。露出の光強度または持続時間を制御することにより、ユーザーはレジストで生成されたパターンを決定することができます。準備段階では、レジストを低温に冷却してから基材に塗布します。基板を準備した後、レジストは化学重合プロセスを開始するために光やプラズマにさらされます。重合の速度と範囲は、露出の種類、露出の持続時間と強度によって異なります。露光プロセスにより、レジスト材料にイメージングパターンが形成され、微細加工の基礎となります。開発段階では、画像は洗浄またはエッチングによって露出していない材料を除去することによって開発されます。このプロセスが完了すると、基板はさらなる微細加工の準備が整います。KARL SUSS RC 16は、光学品質と高解像度画像でミクロンとサブミクロンのラインとスペースを生成することができます。このツールは、基板の高いスループットと露出の高精度を実現することもできます。この資産は、サブミクロンのリソグラフィーとディープエッチプロセスの両方に使用するのに十分な汎用性があります。最先端の機能により、RC 16は高度な半導体デバイス製造に最適なフォトレジストモデルです。