中古 KARL SUSS / MICROTEC RC 16 #293767597 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC RC 16は、マイクロリソグラフィ用途向けに設計された高倍率デジタルフォトレジスト装置です。このシステムは、精度と精度を備えたカスタムスモールスケール部品の作成に最適です。このユニットは、1,000mmの深度スキャン場と0。5マイクロメートルの解像度を持つ90ナノメートル分解能のアルミニウム電子ビームマスクスキャナで構成されています。精密5軸モーションツールを備えた5軸ディスプレイステージを内蔵し、ビームの解像度とスキャンの深さを正確に指示することができます。スキャンフィールドも調整可能で、最大1mmの深さに対応できます。MICROTEC RC 16は、マスクの迅速なバッチスキャンを提供し、マイクロ流体、ITO成膜、ハードディスクドライブ、フレキシブルエレクトロニクス、オプトエレクトロニクスなど、幅広いリソグラフィーアプリケーションで直接使用できるデータセットを生成します。このアセットのユーザーフレンドリーなインターフェイスは、簡単なキャリブレーション、自動化されたアライメント、直感的なユーザーインターフェイスを提供します。さらに、このモデルはライブモニタリング、画像パラメータのソフトウェア調整、結果のリアルタイム分析とフィードバックを提供します。また、露出制御システムを内蔵することで、スポットサイズやショット毎の露出量を正確に調整することができます。これは、露出線量を制御し、フィールドの均一性を高めることによって、非均一パターンの開発を防ぐのに役立ちます。最先端のフォトレジスト製剤は、最適なフォトレジスト特性を維持しながら、優れた接着性と解像度を提供します。これにより、KARL SUSS RC 16によって生成されたパターンは、劣化することなく何年も続くことが保証されます。結果として、この機械は商業および研究の実験室の広い範囲のための理想的な選択であることができます。