中古 KARL SUSS / MICROTEC RC 16 (RC5) #9383649 を販売中

MICROTEC RC16 （RC5）は、物理的な微細構造を薄膜にパターン化するために使用されるフォトレジスト装置です。このフォトレジストシステムは、内部パターンアライナーを備えており、数ミクロンから数十ナノメートルのレイヤーに定義された微細構造パターンを作成します。フォトレジストユニットは、高い精度と再現性を提供するように設計されており、再現性の高い結果を得ることができます。パターンアライメント精度は75mmチップフィールドで0。3ミクロン、画像解像度は1ミクロンです。出力の再現性は0。3ミクロンで、0。1〜8ミクロンの大きさのサンプルを測定することができます。このツールのフォトレジスト層の厚さは20〜180nmで、アセットに組み込まれた精密シャッターによって制御されます。KARL SUSS RC16 （RC5）には、ハイスループットアプリケーションのニーズに対応するためのバッチ処理機能も含まれています。この装置には、一度に最大25個の微細構造の画像を取得できるトップダウンビジョンモデルと、取得した画像を保存するための内蔵データベースが含まれています。さらに、自動化されたスポットマッピングとグローバル露出が含まれており、さらなる効率と精度が向上します。KARL SUSS/MICROTEC RC16 （RC5）は、ニュートラルリリース剤を使用して、正と負の両方のトーン開発を可能にします。装置は4つの開発方法を提供します；湿った開発、溶媒の開発、乾燥した開発およびポスト露出の焼くこと。フォトレジストシステムは、4〜40°Cの温度で安定しており、汚染を最小限に抑え、ノイズを最小限に抑えて一貫した再現性のある結果を保証するように設計されています。要するに、MICROTEC RC16 （RC5）は、物理的な微細構造パターンを正確かつ正確にパターン化するために使用されるフォトレジストユニットです。フォトレジスト層の調整と再現性を実現し、ハイスループットアプリケーション向けのバッチ処理機能を提供します。さらに、4つの開発方法と非汚染温度安定性を備え、正と負の両方のトーン開発を提供します。