中古 KARL SUSS / MICROTEC M 2000E #9316057 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC M 2000Eは、サブミクロン構造を作成するために使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、ピンセット液体ディスペンサー、スピンコーター、デジタルイメージングユニット（モノクロマチック、カラー、UV、蛍光、IR）の3つの主要コンポーネントで構成されています。ピンセット液体ディスペンサーは、フォトレジストを基板に分配してパターン化するために使用されます。スピンコーターは、基板表面のフォトレジストを均等に分配し、フォトレジストを適切な形状に導くために使用されます。デジタルイメージングマシンは、フォトレジストシステムよりもはるかに優れた解像度を提供し、幅広い解像度と検査オプションを提供します。MICROTEC M 2000Eは、用途に応じてさらに調整することができる0。2 µmより小さい機能サイズを生成する機能を提供します。モノクロ光、カラーライト、紫外線（UV）光、蛍光照明、赤外線画像など、さまざまな照明オプションを提供しています。KARL SUSS M 2000Eは、様々なイルミネーションオプションとは別に、ポジティブフォトレジスト、ネガティブフォトレジスト、リムーバータイプ、多重露光フォトレジストなど、さまざまなフォトレジストを提供しています。さらに、このツールは、1時間あたり最大1,000ウェーハの生産速度で高スループットバッチを生成する機能を備えています。これにより、生産サイクルを改善し、製造プロセスのコストを削減できます。また、2〜12インチまでのウェーハサイズに対応し、ストレスフリー動作のための完全自動ウェーハハンドリングアセットを備えています。サブミクロン構造を作成する能力とは別に、M 2000Eは自動フォーカス機能とフォーカスオフセット機能を備え、比類のない精度と精度を提供します。また、高速アドレス指定ウエハマッピングモデルも含まれており、誇りを持っていることができる小さな機能の正確で繰り返し可能な生産を確実にするのに役立ちます。最後に、KARL SUSS/MICROTEC M 2000Eフォトレジスト装置は、精度、精度、スループット、および費用対効果の強力な組み合わせを提供します。