中古 KARL SUSS / MICROTEC JWS LTC #9289946 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC JWS LTCは、半導体デバイスの製造に使用される先進的なフォトレジスト加工装置です。このシステムは、レジストレイヤーのリソグラフィ、エッチング、クリーニングのための包括的な機能と機能を提供します。このユニットは、紫外線（紫外線）にさらされる治具に取り付けられたレジストコート基板を使用しています。この光はレジスト可溶性分子を分解し、基底表面をエッチング剤に露出させます。このプロセス中に、露出または「影」の領域はエチャントを受け入れる一方、露出または「明るい」領域は影響を受けません。このマシンは露出パラメータを正確に制御し、最も広範囲のレジストで動作するように設計されています。露出線量、スポットサイズ、露出ピッチを正確に制御することで、どんな種類のレジストを処理しても正確な結果が得られます。露出パラメータを正確に制御するだけでなく、高解像度のイメージングアセットを備えているため、最適なフォーカスが可能です。これは、より高い画質とレジスト表面の正確な制御を意味します。また、エッチングパラメータを正確に制御する専用のエッチングステーションも備えています。これにより、エッチング時間とプロファイルはアプリケーションごとに一貫しており、予測可能です。また、ポストエッチング用の堅牢なクリーニングプロトコルを統合するように設計されています。これにより、最適なプロセス歩留まりが可能になります。最後に、露出時の基板温度の連続監視、露出後の焼き付け、エッチング、洗浄を可能にするモニタリングユニットを搭載しています。このリアルタイム監視により、最適なプロセス制御とパフォーマンスが保証されます。MICROTEC JWS LTCは、半導体デバイスの製造において精密なリソグラフィとエッチング結果を提供するために設計された先進的なフォトレジスト加工機です。このツールは、露光パラメータ、高解像度イメージング、エッチングステーション、堅牢なクリーニングプロトコル、リアルタイム監視を正確に制御します。